[发明专利]检查装置和基板的定位方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，包括：

输送台，其具有用于支承基板并以沿输送方向输送该基板的方式进行旋转的辊；

驱动机构，其用于使上述基板沿上述输送方向移动；

定位构件驱动部，其设置于上述输送台的靠上述基板的输入侧的端部侧，用于保持与上述基板抵接的定位构件并使该定位构件向上述输送方向移动；

端面检测部，其用于检测上述基板的与上述输送方向平行的方向的端面；

检查部，其用于根据上述端面检测部所检测出的端面的信息来进行上述基板的检查；以及

基准构件驱动部，其设置于上述检查部和上述定位构件驱动部之间，用于保持与上述基板抵接的基准构件并驱动该基准构件而使该基准构件升降。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

上述定位构件呈大致圆柱状，并能够绕该圆柱的中心轴线旋转。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

上述基准构件的比至少与上述基板抵接的区域靠上方的部位朝向上述输送方向的前方倾斜。

4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

上述驱动机构具有用于吸附保持上述基板的吸盘。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其特征在于，

上述基准构件设置有多个，

上述定位构件相对于多个上述基准构件中的位于上述输送台的宽度方向的最外缘侧的基准构件位于上述宽度方向的内部侧。

6.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

上述定位构件驱动部用于驱动上述定位构件而使上述定位构件升降。

7.一种基板的定位方法，其是检查装置的基板的定位方法，该检查装置具有用来进行基板的检查的检查部、以及用于载置上述基板而输送该基板的输送部，其特征在于，上述基板的定位方法包括：

输入步骤，向输送台输入上述基板，该输送台具有用于沿输送上述基板的输送方向旋转的辊；

定位构件驱动步骤，驱动定位构件，该定位构件设置于上述输送台的靠上述基板的输入侧的端部侧并用于与上述基板抵接；

基板固定步骤，利用基准构件以及上述定位构件来夹持固定上述基板，该基准构件设置于上述检查部和上述定位构件驱动部之间并用于与上述基板抵接；以及

端面检测步骤，对利用上述基板固定步骤固定的上述基板的与上述输送方向平行的方向的端面进行检测。