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- [实用新型]检查装置-CN201120417763.8有效
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辻治之;木内智一
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奥林巴斯株式会社
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2011-10-27
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2012-11-07
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H01L21/68
- 本实用新型提供能以简易的结构防止基板的损伤而进行输送的检查装置，检查装置包括：输送台(20)，具有用于支承基板并以沿输送方向输送基板的方式进行旋转的自由辊(201)；驱动机构(30)，用于使基板沿输送方向移动；定位销驱动部(202)，设置于输送台的端部侧，用于保持与基板抵接的定位销(202a)并使定位销向输送方向移动；基准销驱动部(203)，设置于检查单元和定位销驱动部之间，用于保持与基板抵接的基准销(203a)并驱动基准销而使基准销升降；端面检测部(204)，用于检测基板的与输送方向平行的方向的端面；检查单元(100)，用于根据端面检测部所检测出的端面的信息来进行基板的检查。
- 检查装置
- [发明专利]检查装置和基板的定位方法-CN201110332017.3无效
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辻治之;木内智一
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奥林巴斯株式会社
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2011-10-27
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2012-05-16
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H01L21/68
- 本发明提供能够以简易的结构防止基板的损伤而进行输送的检查装置及基板的定位方法。检查装置包括：输送台(20)，具有用于支承基板并以沿输送方向输送基板的方式进行旋转的自由辊(201)；驱动机构(30)，用于使基板沿输送方向移动；定位销驱动部(202)，设置于输送台的端部侧，用于保持与基板抵接的定位销(202a)并使定位销向输送方向移动；基准销驱动部(203)，设置于检查单元和定位销驱动部之间，用于保持与基板抵接的基准销(203a)并驱动基准销而使基准销升降；端面检测部(204)，用于检测基板的与输送方向平行的方向的端面；检查单元(100)，用于根据端面检测部所检测出的端面的信息来进行基板的检查。
- 检查装置定位方法
- [发明专利]外观检查装置-CN200810107831.3有效
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辻治之
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奥林巴斯株式会社
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2008-05-14
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2008-11-19
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G01N21/956
- 本发明提供外观检查装置，该外观检查装置具有：第1基板保持部，其以能够观察基板表面的方式对基板进行保持；第2基板保持部，其以能够观察基板背面的方式对基板进行保持；第1基板保持部移动机构，其使第1基板保持部移动；第2基板保持部移动机构，其使第2基板保持部移动；以及控制装置，其控制第1基板保持部移动机构和第2基板保持部移动机构，以使利用第1基板保持部观察基板表面时基板的位置和利用第2基板保持部观察基板背面时基板的位置大致一致。
- 外观检查装置
- [发明专利]带焦点位置控制机构的观察装置-CN200580030806.4无效
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仓田俊辅;辻治之
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奥林巴斯株式会社
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2005-09-13
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2007-08-15
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G02B7/28
- 本发明提供一种带焦点位置控制机构的观察装置。本发明的显微镜用AF装置(1)具有：观察光学系统(6)，其通过多个可换的物镜(2)中的一个，将照明光照射到被检体(3)上，并具有用于观察来自该被检体(3)的反射光的CCD(摄像元件)(5)；焦点检测光学系统(10)，其用于检测物镜(2)与被检体(3)的相对距离，并具有：投光部(7)和光电探测器(光电变换部)(8)，该投光部(7)将激光(非可见光)通过观察光学系统(6)的物镜(2)照射到被检体(3)上，该光电探测器(8)配置在由被检体(3)反射后的激光的光学像的像面上，并输出与光学像的像面内位置对应的信号；被检体位置调节装置(11)，其根据来自焦点检测光学系统(10)的输出信号，调节被检体(3)的聚焦位置；光圈装置(12)，其在CCD(5)的摄像范围内调节激光的投光范围。
- 焦点位置控制机构观察装置
- [发明专利]外观检查装置-CN200610066698.2无效
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辻治之;菅义明;内木裕
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奥林巴斯株式会社
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2006-04-19
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2006-11-01
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G01N21/896
- 外观检查装置。本发明的外观检查装置具备：向晶片(13)照射照明光的广域照明部(2)、狭缝照明部(3)、点照明部(4)等照明部；摇动机构(12)，其可摇动移动地保持晶片(13)；以及控制单元(9)，其进行这些照明部以及摇动机构(12)的控制。该外观检查装置通过键盘(16)、鼠标(17)等输入检查条件设定值，将它们作为针对各检查工序种类汇总后得到的检查工序设定信息存储于存储部中，通过控制单元(9)中的设定信息选择部选择检查工序设定信息，进行检查。
- 外观检查装置
- [发明专利]缺陷检测装置-CN01800646.9无效
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小室考广;辻治之;三浦靖忠;田中利彦
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奥林巴斯光学工业株式会社
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2001-03-23
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2002-08-21
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G01N21/956
- 本发明的缺陷检测装置的构成包括被检测体;照明部,对该被检测体倾斜规定角度配置,并照射照明光;摄像部,对上述被检测体倾斜规定角度配置,并对由上述被检测体发出的衍射光进行摄像;角度控制部,用于改变上述照明部及前述摄像部中至少一方的倾斜角度;图像处理部,按各倾斜角度,通过上述摄像部取入从上述被检测体发出的衍射光,并且求出对应于该衍射光的各倾斜角度的亮度值;判断部,从倾斜角度和亮度值的关系,判断最适合对衍射光进行观测的n次光;及角度控制部,根据该判断部的判断结果,对上述照明部及摄像部中至少一方的倾斜角度进行设定。
- 缺陷检测装置
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