[发明专利]保持部件形状判定装置和方法、基板处理装置和存储介质

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板输送装置，特别涉及在保持并输送基板的保持部件可自由进退地设置于输送基体的基板输送装置中，判定上述保持部件的形状是否存在异常的技术。

背景技术

在半导体器件和LCD基板的制造工序中，在基板处理装置内设置有多个对基板进行处理的模块，利用基板输送装置向这些模块依次输送作为基板的半导体晶片(以下称作“晶片”)，然后进行规定的处理。在上述基板输送装置中，例如保持基板的周边缘的叉沿着输送基体可自由进退地设置，并且上述输送基体可围绕铅直(铅直)轴自由旋转、可自由升降地构成。

在上述基板处理装置内，预先按照每个模块设定基板输送装置向该模块进行晶片交接的交接位置，基板输送装置移动至上述交接位置，与该模块之间进行晶片的交接。但是，存在例如因上述交接位置的设定失误，使得叉与模块等构造物发生撞击的情况。此外，因模块一侧的晶片交接位置的偏差和晶片的弯曲、由药液引起的打滑等，而无法在叉上的适当位置保持晶片，导致有时也会隔着晶片与构造物撞击。当发生这种撞击时，外力施加在叉上，发生上下方向的弯曲、左右方向的扩展和变窄等叉的变形的可能性较高。

像这样叉发生变形的情况下，如果保持原有状态继续基板输送装置的动作，则可能导致晶片从叉上落下，导致晶片和基板输送装置损坏，或者，进而引起叉再次撞击构造物，使得叉的变形程度增大等二次事故。

因此，在目前，当叉撞击构造物后发出警报时，操作员进入基板处理装置内，按照规定的确认工序以目视确认叉的变形状态，在叉发生变形的情况下，对其进行维修。但是，装置内的操作员的处理空间是密闭的且较暗，因此，为了精确地掌握叉的状态，存在由于操作环境差，而且确认工序数多，从而增加操作员的负担的问题。此外，由于是目视下的确认作业，因此，存在因操作员的个人差异而难以定量地判断叉的变形程度的问题。

在专利文献1中记载有以下结构：在输送基体可自由进退地设置大致水平的保持臂而构成的基板输送装置中，判断相对于保持臂的水平面的前后形状是否正常。在该专利文献1中，设置形成水平的光轴的光传感器，根据通过使输送基体相对于光传感器相对升降所取得的来自上述光传感器的受光-非受光的检测结果、上述输送基体的高度位置，判断上述保持臂的形状是否正常。

上述这种结构在能够判定对于沿着上下方向排列的多个保持臂而言形状是否同时正常的方面有效，但是，在保持臂的进退方向的一部分形状存在变形部位时，难以检测出形状的异常，即使使用该专利文献1的结构也难以解决本发明的课题。

专利文献1：日本特开2008-235841号公报

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够可靠且容易地检测出保持部件的形状是否存在异常的技术。

本发明提供一种保持部件的形状判定装置，其特征在于：

在保持并输送基板的保持部件可自由进退地设置于输送基体的基板输送装置中，上述保持部件的形状判定装置判定上述保持部件有无异常，上述保持部件的形状判定装置包括：

光检测部，其按照在使上述保持部件前进时该保持部件通过上述光检测部的前方的方式，相对于保持部件的行进方向设置于侧面，并且以光学方式检测该保持部件的上下方向的位置和相对于上述进退方向的左右方向的位置中的至少一方；和

数据取得部，在使上述保持部件相对于上述光检测部进退时，取得使该保持部件的上下方向的位置与保持部件的进退方向的位置对应的数据、和使保持部件的左右方向的位置与保持部件的进退方向的位置对应的数据中的至少一方的数据，

根据取得的上述数据来判定上述保持部件的形状是否存在异常。

此处，关于保持部件的形状是否存在异常，也可以设置判定部，该判定部计算保持部件的上下方向的位置对进退方向的位置取二次微分的值，根据该值来判定保持部件的形状有无异常，也可以包括显示部：显示使保持部件的上下方向的位置与进退方向的位置对应的波形和使保持部件的上述左右方向的位置与进退方向的位置对应的波形中的至少一方，操作员可以根据上述波形来判定。

此外，本发明的基板处理装置，其特征在于，包括：

对基板进行处理的基板处理部；

基板输送装置，利用可自由进退地设置的保持部件保持基板，对上述基板处理部输送基板；和

上述保持部件的形状判定装置。

本发明提供一种保持部件的形状判定方法，其特征在于：