[发明专利]化学气相沉积炉用预热装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉用预热装置，包括炉体、料柱、进气管和承料盘；料柱位于炉体内，置于承料台的上表面；其特征在于，还包括基座、预热筒和导气管，并且所述的基座、预热筒和导气管均用石墨制成；基座和预热筒均位于料柱内，并且基座置于承料台的上表面中心处；预热筒安放在基座底板的上表面，并套装在位于基座上表面中心的预热筒定位套筒上；预热筒的内壁与所述预热筒定位套筒的外表面之间间隙配合；导气管装入预热筒内，并使所述导气管的大直径端位于基座的中心孔内；导气管的外壁与预热筒内壁之间的距离为30mm～60mm；当气体流量在80升/分-120升/分时，导气管的外壁与预热筒内壁之间距离的优选范围为55mm-60mm；当气体流量在50升/分-80升/分时，导气管的外壁与预热筒内壁之间距离的优选范围为35mm-40mm；导气管的高度小于预热筒的内腔高度10-20mm；进气管的一端穿过承料台的中心孔，装入导气管的内孔中；进气管的另一端与气源管道连接；基座的底部涂敷有胶结剂。

2.如权利要求1所述一种化学气相沉积炉用预热装置，其特征在于，基座中心孔的孔径与导气管大直径端的外径相同；基座上表面中心的预热筒定位套筒的外径与预热筒的内径相同；在基座底板的上表面对称地分布有2个径向槽；在与所述径向槽对应的预热筒定位套筒的外圆周表面上亦有2个轴向槽；同侧相对应的径向槽和轴向槽连通，形成了预热装置的出气口，出气口的截面积为100～200mm²。

3.如权利要求1所述一种化学气相沉积炉用预热装置，其特征在于，导气管大直径端的外径与基座底板中心孔的孔径相同；所述导气管大直径端的内孔孔径大于进气管的外径10mm。

4.如权利要求1所述一种化学气相沉积炉用预热装置，其特征在于，所述的胶结剂用酚醛树脂和石墨粉混合而成，其份量比为：酚醛树脂∶石墨粉＝1∶1～2。