[发明专利]基于可伸缩腔室的原子层沉积设备及其使用方法

权利要求书

1.一种基于可伸缩腔室的原子层沉积设备，包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件、控制部件和沉积室，其特征在于：所述沉积室包括第一容积和第二容积；当所述沉积室在通气状态时，所述沉积室的容积为第一容积，当通气结束后，所述沉积室的容积为第二容积；所述第一容积大于所述第二容积。

2.如权利要求1所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述控制部件包括计算机和数据处理模块；所述计算机与所述数据处理模块连接，所述数据处理模块分别与所述真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件连接；

其中，所述计算机，用于显示系统操作界面、接收外部命令、显示系统各部件运行中的参数，向数据处理模块发送运行指令和数据和对设备其它部件进行控制，并从数据处理模块接收指令数据，对接收到的指令数据进行分析；所述数据处理模块，用于对所述真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件发送的数据进行处理。

3.如权利要求2所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述加热部件中的温控器通过RS232串口与所述数据处理模块连接。

4.如权利要求2所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述真空部件中的压力传感器和真空计分别通过RS232和RS485串口与所述数据处理模块连接。

5.如权利要求2所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述数据处理模块和所述真空部件中的电压电流放大模块连接，所述电压电流放大模块和继电器连接，所述继电器下端为泵组电源。

6.如权利要求2所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述数据处理模块与所述等离子体产生部件中的射频电源连接。

7.如权利要求2所述的原子层沉积设备，其特征在于：所述数据处理模块与所述气路部件中的质量流量控制器以及各个电磁阀相连。

8.一种基于可伸缩腔室的原子层沉积设备的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

将沉积室的容积调整为第一容积，然后向所述沉积室通入气体；

通气结束后，将所述沉积室的容积调整为第二容积，所述第二容积小于第一容积。

9.如权利要求8所述的原子层沉积设备的使用方法，其特征在于：所述气体为反应气体或清理气体。

10.如权利要求9所述的原子层沉积设备的使用方法，其特征在于：将所述沉积室的容积调整为第二容积后，所述气体在所述沉积室中进行反应或清洗。