[发明专利]金属膜用研磨液及研磨方法

权利要求书

1.一种金属膜用研磨液，其特征在于，包含磨粒、由甲基丙烯酸系聚合物构成的水溶性聚合物和水。

2.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述甲基丙烯酸系聚合物为选自甲基丙烯酸的均聚物，以及甲基丙烯酸和与该甲基丙烯酸能够共聚的单体的共聚物中的至少一种。

3.根据权利要求1或者2所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述磨粒为选自二氧化硅、氧化铝、二氧化铈、二氧化钛、氧化锆、二氧化锗或者它们的改性物中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，还包含有机溶剂。

5.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，还包含氧化金属溶解剂。

6.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，还包含金属的氧化剂。

7.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，还包含金属的防腐蚀剂。

8.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，其为用于研磨表面具有配线密度在50％以上的配线形成部的被研磨膜的研磨液。

9.根据权利要求2所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述能够共聚的单体为下述物质中的至少一种：选自丙烯酸、巴豆酸、乙烯基乙酸、惕各酸、2-三氟化甲基丙烯酸、衣康酸、富马酸、马来酸、柠康酸、中康酸、葡糖酸的羧酸类；2-丙烯酰胺-2-甲基丙烷磺酸；选自丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯的丙烯酸系酯类；以及选自它们的铵盐、碱金属盐、烷基胺盐的盐。

10.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述甲基丙烯酸系聚合物为甲基丙烯酸和丙烯酸的共聚物或者甲基丙烯酸和丙烯酸系酯的共聚物。

11.根据权利要求2所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述共聚物中的甲基丙烯酸的比例为80摩尔％以上。

12.根据权利要求2所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述共聚物中的甲基丙烯酸的比例为90摩尔％以上。

13.根据权利要求2所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述共聚物中的甲基丙烯酸的比例为99摩尔％以下。

14.根据权利要求2所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述共聚物中的甲基丙烯酸的比例为95摩尔％以下。

15.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述甲基丙烯酸系聚合物的重均分子量为3000以上。

16.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述甲基丙烯酸系聚合物的重均分子量为5000以上。

17.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述甲基丙烯酸系聚合物的重均分子量为500万以下。

18.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述甲基丙烯酸系聚合物的重均分子量为100万以下。

19.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述甲基丙烯酸系聚合物的重均分子量为10万以下。

20.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述甲基丙烯酸系聚合物的配合量相对于金属膜用研磨液全部成分的总量100g为0.001～15g。

21.根据权利要求1所述的金属膜用研磨液，其特征在于，所述甲基丙烯酸系聚合物的配合量相对于金属膜用研磨液全部成分的总量100g为0.01～5g。

22.一种研磨方法，其特征在于，包含第1研磨工序和第2研磨工序；

所述第1研磨工序为如下工序：研磨基板的导电性物质层使凸部的阻挡层露出，所述基板具有表面有凹部和凸部的层间绝缘膜、沿表面覆盖所述层间绝缘膜的阻挡层、填充所述凹部并覆盖所述阻挡层的导电性物质层；

所述第2研磨工序为如下工序：用权利要求1所述的金属膜用研磨液研磨在所述第1研磨工序中露出的所述基板的阻挡层，使所述凸部的层间绝缘膜露出。