[发明专利]分割掩模框架组件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用来制造大尺寸AMOLED(Active Matrix/Organic Light Emitting Diode：有源矩阵有机发光二极体面板)多面取电视面板及移动设备(Mobile)操作面板的棒状掩模(stick mask)分割的掩模框架组件及其制造方法。具体涉及以下的掩模框架组件及其制造方法，在利用多个分割掩模来制造大尺寸的多面取掩模框架组件时，在框架的中央部形成肋条而使框架的下垂程度能够最小，从而把掩模焊接在框架时提高图案与位于下部的母玻璃的对齐程度，从而进行更加精密的掩模焊接，而且，因中央部的肋条而使框架的下垂最小，从而防止在蒸镀有机物时产生的阴影(shadow)现象，最终显著提高大尺寸AMOLED面板的品质。

背景技术

有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)的反应速度明显比薄膜晶体管液晶显示器(TFT LCD)快。而且因为是自发光所以不需要背光，可以将其厚度和重量减少1/3，是一个具有广视角和低耗电结构的下一代显示器。

上述的有机发光二极管分为AM方式(能动)和PM方式(被动)。与AMOLED相比PMOLED的制造单价低，消耗电力、寿命和分辨率具有一定的限制。AMOLED每个像素都具有TFT和电容器，在电力消耗、寿命、分辨率等方面都具有优秀的性能，所以可以克服因制造TFT而提高其制造费用的短处，现在在各领域中都尝试着积极开发和大量生产。

AMOLED的最大优点是画质的竞争力。与其最大竞争对象LCD相比，其色彩再现率为30％，对比度为20倍。AMOLED感觉不到作为LCD最大弱点的余像(after image)现象。因为在LCD中，使作为间接光源的背光灯通过液晶、彩色滤光器等，比较复杂地显示画面，相反，AMOLED是由有机物质自发光而直接再现自然色画面。

另外，OLED与LCD相比结构简单，在制造时部件方便上很占优势。

但是，OLED在材料成本、驱动回路、驱动IC的价格上，其折旧率所占的比率很大，近于整个成本的一半。这是因为OLED还没有在消费者中形成大众化，很难得到由其大量生产而产生的降低制造单价效果。但是，随着时间的推移，产量增加，折旧率会下降，可以期待在价格上也能够与LCD进行竞争。其理由为，因自发光的方式而不需要BLU和彩色滤光器等部件，结构简单，所以可以充分降低其成本。

所以，为了具备价格竞争力，需要为降低折旧率而做努力。

但是，为了大量生产，还有很多需要解决的技术问题。即，发光的有机物质对其中制造环境非常敏感，要生产出高质量的显示器很困难，因此需要克服成品率的问题，今后随着其大型化，还具有确保成品率更困难等一系列问题。

以下，参照图示在利用掩模框架组件的有机物蒸镀器中制造AMOLED的原理的附图12，对利用AMOLED(能动型有机发光二极管)的以往显示面板的制造方法进行说明。

AMOLED显示面板的基本构造为在玻璃基板上形成作为阳极的ITO(Induim Tin Oxide：氧化铟锡)，在其上表面蒸镀有机物R、G、B，然后在其上形成阴极，使阳极和阴极通电而发光的简单的结构。

用于制造具有上述基本构成的AMOLED显示器的、以往的掩模拉伸(mask stretching)方式是一种把掩模对准所定目标位置的方式，通过反复进行测定掩模框架组件的条带(stripe)位置后进行补偿的流程，从而使其对齐的方式。

因此，有机蒸镀器内玻璃基板设备的R，G，B的位置和掩模的开口(open)部位需要正确的对齐，因此，由蒸镀源蒸发有机物的同时，诱导有机物使其正确地蒸镀在玻璃基板元件内的分隔壁之间的掩模框架组件的精确度非常重要。

即，使用单图式掩模(single pattern mask)的拉伸方式由于掩模自身的制造误差、因掩模缺陷而产生的成品率低下以及厂家供应的掩模线圈尺寸等的限制，现在能够实现的是第4代Half级的30″单图式TV的水平，大小的最大化的最高技术水平是42″多面取水平。但在用于蒸镀的消耗品的结构上成本太高，在经济性上具有限制性。

因此，以往大量生产的AMOLED大部分为小型，在利用单图式掩模制造掩模框架组件生产大尺寸AMOLED时，在其尺寸上有限制。

用单图式掩模实行大型化的难点在于作为掩模原材料的线圈的供给尺寸不能满足大型化所需要的尺寸。即，由于收益率问题，线圈厂商不生产AMOLED显示厂商所需的尺寸。