[发明专利]连续扩散处理装置

权利要求书

1.一种连续扩散处理装置，其特征在于包括：

输送台，装载多张处于垂直立起状态的板状的被处理件；

筒状的加热炉，从送入所述输送台的送入部到送出所述输送台的送出部以直线状延伸；

输送装置，将所述输送台从所述送入部向所述加热炉内依次送入，并将已在所述加热炉内输送的所述输送台从所述送出部依次送出；

加热装置，对通过所述加热炉内的所述输送台上装载的所述被处理件进行加热；以及

供气装置，向所述加热炉内提供用于扩散处理的气体，

所述输送台具有车轮部，所述车轮部利用滚动轴承在所述加热炉的底面上滚动。

2.根据权利要求1所述的连续扩散处理装置，其特征在于，还包括排气结构部，所述排气结构部设置在所述加热炉底部，且在内部具有将所述加热炉内的气体向所述加热炉外导出的排气流路，

所述排气结构部沿所述输送台的输送方向呈直线配置，并沿所述输送方向引导由所述输送装置输送的输送台。

3.根据权利要求2所述的连续扩散处理装置，其特征在于，所述输送台具有：主体部，位于所述排气结构部的上方，装载所述被处理件；以及导向块，安装在所述主体部的左右两侧，并配置成与所述排气结构部的左右两侧之间具有间隙。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的连续扩散处理装置，其特征在于，所述输送台具有间隔件，当在所述加热炉内输送的状态下，所述间隔件填补在所述输送台上装载的被处理件和与其相邻的输送台上装载的被处理件之间。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述的连续扩散处理装置，其特征在于，所述输送台具有刷子，所述刷子安装在所述输送台的下部，与所述加热炉底面接触。

6.根据权利要求4所述的连续扩散处理装置，其特征在于，所述输送台具有刷子，所述刷子安装在所述输送台的下部，与所述加热炉底面接触。

7.根据权利要求1～3中任意一项所述的连续扩散处理装置，其特征在于，

所述车轮部包括：车轮轴，从所述输送台的主体部向左右方向外侧突出；内轮，安装在所述车轮轴上，在外周面上具有呈凹曲面的内滚动面；外轮，设置在所述内轮的直径方向外侧，在内表面上具有外滚动面；以及滚动件，介于所述内轮和所述外轮之间，并在所述内滚动面和所述外滚动面上滚动；

所述外轮左右方向的一侧的肩部的内径与所述外滚动面的内径基本相同或比所述外滚动面的内径大。

8.根据权利要求4所述的连续扩散处理装置，其特征在于，

所述车轮部包括：车轮轴，从所述输送台的主体部向左右方向外侧突出；内轮，安装在所述车轮轴上，在外周面上具有呈凹曲面的内滚动面；外轮，设置在所述内轮的直径方向外侧，在内表面上具有外滚动面；以及滚动件，介于所述内轮和所述外轮之间，并在所述内滚动面和所述外滚动面上滚动；

所述外轮左右方向的一侧的肩部的内径与所述外滚动面的内径基本相同或比所述外滚动面的内径大。

9.根据权利要求5所述的连续扩散处理装置，其特征在于，

所述车轮部包括：车轮轴，从所述输送台的主体部向左右方向外侧突出；内轮，安装在所述车轮轴上，在外周面上具有呈凹曲面的内滚动面；外轮，设置在所述内轮的直径方向外侧，在内表面上具有外滚动面；以及滚动件，介于所述内轮和所述外轮之间，并在所述内滚动面和所述外滚动面上滚动；

所述外轮左右方向的一侧的肩部的内径与所述外滚动面的内径基本相同或比所述外滚动面的内径大。