[发明专利]工业用机器人

说明书

技术领域

本发明涉及一种对规定的搬运对象物进行搬运的工业用机器人。

背景技术

目前，作为对半导体晶片、液晶玻璃基板等搬运对象物进行搬运的工业用机器人，已知一种包括在对搬运对象物进行搬运时伸缩的两根臂、安装于两根臂中的每一根臂的前端侧的手部、对两根臂进行支承的筐体的工业用机器人(例如参照专利文献1)。在专利文献1所记载的工业用机器人中，两根臂分别具有平行四连杆机构，当臂伸缩时，手部在该平行四连杆机构的作用下呈直线状地移动。

另外，在该工业用机器人中，以当两根臂收缩时两个手部在上下方向上重叠的方式构成两根臂。此处，当将供配置于上侧的手部安装的臂设为第一臂，将供配置于下侧的手部安装的臂设为第二臂时，在该工业用机器人中，若第一臂伸长，则不能使第二臂伸长，若第二臂伸长，则不能使第一臂伸长，由此来构成平行四连杆机构。

因此，在专利文献1所记载的工业用机器人中，当第一臂不收缩时，安装于第二臂的手部不能进行搬运对象物相对于收纳搬运对象物的收纳部的进出，当第二臂不收缩时，安装于第一臂的手部不能进行搬运对象物相对于收纳部的进出。这样，在专利文献1所记载的工业用机器人中，不能个别地进行两根臂的伸缩动作。因此，在专利文献1所记载的工业用机器人中，尽管包括两根臂，也都不能按每一根臂个别地进行搬运对象物相对于收纳部的进出，从而存在搬运对象物的搬运处理很费时间这样的问题。

因此，目前，已知一种能个别地使两根臂伸缩以利用两根臂个别地进行搬运对象物相对于收纳部的进出的工业用机器人(例如参照专利文献2及专利文献3)。专利文献2所记载的工业用机器人包括：对第一手部进行支承的第一臂；对第二手部进行支承的第二臂；以及圆筒体形状的底座部。在该工业用机器人中，第一臂包括：设于底座部的第一回旋支轴；以能自由回旋的方式支承于第一回旋支轴的第一连杆；设于第一连杆的驱动端部的第二回旋支轴；以及以能自由回旋的方式支承于第二回旋支轴的第二连杆，第二臂包括：设于底座部的第一回旋支轴；以能自由回旋的方式支承于第一回旋支轴的第一连杆；设于第一连杆的驱动端部的第二回旋支轴；以及以能自由回旋的方式支承于第二回旋支轴的第二连杆。

在专利文献2所记载的工业用机器人中，在第一臂的第一连杆与第二连杆之间形成有较大的间隙，以当使第一臂伸缩时使第二臂及第二手部与第一臂的第二连杆不干涉，并且，在该间隙中配置有第二臂及第二手部。另外，在该工业用机器人中，第一臂的第一连杆和第二臂的第一连杆的长度、形状不同，第一臂的第二连杆和第二臂的第二连杆的长度、形状不同。

专利文献3所记载的工业用机器人包括：由回旋臂、中段臂及基板保持臂构成的第一多关节臂；以及由回旋臂、中段臂及基板保持臂构成的第二多关节臂。在该工业用机器人中，从水平方向观察时，从下侧起依次配置有第二多关节臂的回旋臂和第一多关节臂的回旋臂。另外，在该工业用机器人中，从水平方向观察时，第一多关节臂的中段臂和第二多关节臂的中段臂被配置在相同的高度上，此外，第一多关节臂的基板保持臂和第二多关节臂的基板保持臂被配置在相同的高度上。

另外，专利文献3所记载的工业用机器人包括：使第一多关节臂回旋的第一回旋驱动部；使第二多关节臂回旋的第二回旋驱动部；使第一多关节臂伸缩的第一伸缩驱动部；以及使第二多关节臂伸缩的第二伸缩驱动部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2008-284629号公报

专利文献2：日本专利特开2002-172570号公报

专利文献3：日本专利特开2004-288719号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献2及专利文献3所记载的工业用机器人中，由于能个别地使两根臂伸缩以利用两根臂个别地进行搬运对象物相对于收纳部的进出，因此，能缩短搬运对象物的搬运处理的时间。

然而，在专利文献2所记载的工业用机器人中，在第一臂的第一连杆与第二连杆之间形成有较大的间隙，在该间隙中配置有第二臂和第二手部。另外，在该工业用机器人中，第一臂的第一连杆和第二臂的第一连杆的长度、形状不同，第一臂的第二连杆和第二臂的第二连杆的长度、形状不同。因此，在专利文献2所记载的工业用机器人中，第一臂与第二臂的重量平衡较差。