[实用新型]基板对位装置、基板对位平台和基板传送设备有效
申请号: | 201020592164.5 | 申请日: | 2010-10-29 |
公开(公告)号: | CN201845752U | 公开(公告)日: | 2011-05-25 |
发明(设计)人: | 吴健 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/677;G02F1/1333 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 对位 装置 平台 传送 设备 | ||
技术领域
本实用新型涉及液晶显示器制造技术,特别涉及一种基板对位装置、基板对位平台和基板传送设备。
背景技术
在薄膜晶体管液晶显示器的制造过程中,为了实现玻璃基板的正常传动,存在很多玻璃基板对位步骤。目前常用的是通过基板对位装置进行玻璃基板的定位。
图1为现有技术基板对位装置的结构示意图,如图1所示,该基板对位装置可以包括气缸主体11、运动活塞12、活动件导轨13、运动活塞位置检测传感器14和对位针15。其中,活动件导轨13设置在气缸主体11的下方,运动活塞12活动设置在气缸主体11内,可以沿活动件导轨13进行往复运动;对位针15固定设置在运动活塞12的端部,可以随着运动活塞12一起运动,该对位针15上设置有对位滚轮;运动活塞位置检测传感器14用于检测运动活塞12的运动位置。该基板对位装置在工作时,外部驱动信号驱动电磁阀门开启,向气缸主体11内通入作为动力的压缩空气,驱动运动活塞12沿活动件导轨13做往复运动,并带动对位针15一起运动对基板进行位置校正。运动活塞位置检测传感器14可以将运动活塞12的位置信息反馈至控制系统,确保运动活塞12运动到位。
但是,上述现有技术的基板对位装置存在如下技术缺陷:运动活塞在带动对位针运动的过程中,缓冲性较差,容易使得对位过程中的硬力损伤玻璃基板,造成玻璃基板破碎。例如特别是对于制造小尺寸的液晶显示器中所使用的薄玻璃基板损伤较大,造成玻璃基板破碎的高发,降低了产品良率。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种基板对位装置、基板对位平台和基板传送设备,以解决基板对位过程中易发生基板破碎的问题,实现降低对位过程中的玻璃基板损伤率,提高基板对位时的产品良率。
本实用新型提供一种基板对位装置,包括:支持部件、气缸主体、活塞气缸、运动活塞、对位部件、弹性部件和导轨;
所述气缸主体固定在所述支持部件上,两个所述活塞气缸设置在所述气缸主体内,且两个所述活塞气缸之间存在间隙;所述支持部件的端部设置有端部体,所述运动活塞的一端设置在所述活塞气缸内,另一端与所述端部体相对;
所述对位部件包括对位支架、对位滚轮、活动件和滑块;所述对位滚轮设置在所述对位支架上,所述活动件固接在所述对位支架的下部,且所述活动件上设置有穿设孔,所述运动活塞穿设于所述穿设孔中;所述滑块设置在所述活动件的底部且与所述支持部件上设置的导轨滑动连接;所述弹性部件的一端连接所述活动件,另一端连接所述端部体。
如上所述的基板对位装置,所述弹性部件为弹簧。
如上所述的基板对位装置,还包括:调节部件;所述调节部件包括调节杆和固定件;所述调节杆设置于两个所述运动活塞之间的间隙处,且穿设于所述弹簧;所述调节杆的一端连接所述活动件,另一端穿过所述端部体伸出后由所述固定件锁紧。
如上所述的基板对位装置,所述固定件为调节螺母。
如上所述的基板对位装置,还包括:基板检测部件;所述基板检测部件包括检测支架和检测传感器;所述检测支架设置在所述气缸主体的靠近所述对位部件的端部位置,所述检测传感器设置在所述检测支架上。
如上所述的基板对位装置,所述检测支架固定在所述气缸主体上。
如上所述的基板对位装置,所述气缸主体的靠近所述对位部件的端部位置还设置有活动件定位停止装置,所述活动件定位停止装置的一端伸出所述气缸主体的端部。
如上所述的基板对位装置,所述检测传感器的数量与所述对位滚轮的数量相等。
如上所述的基板对位装置,所述检测传感器为光感传感器。
本实用新型提供一种基板对位平台,包括平台支架和本实用新型所述的基板对位装置,所述基板对位装置固定在所述平台支架上。
本实用新型提供一种基板传送设备,包括基板传送轨道和本实用新型所述的基板对位平台,所述基板对位平台设置在所述基板传送轨道上。
本实用新型的基板对位装置、基板对位平台和基板传送设备,通过设置弹性部件等缓冲结构,解决了基板对位过程中易发生基板破碎的问题,降低了对位过程中的玻璃基板损伤率,提高了基板对位时的产品良率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术基板对位装置的结构示意图;
图2为本实用新型基板对位装置实施例的俯视图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造