[实用新型]一种湿硅片自动分片装置

权利要求书

1.一种湿硅片自动分片装置，包括电控系统(1)、水箱(2)、上料升降机构(3)、硅片导向架(4)和机械手(6)，其特征在于：所述的硅片导向架(4)底部倾斜安装于水箱(2)内；在水箱(2)内还安装有上料升降机构(3)、滚轮(10)和超声波发生器(11)。

2.根据权利要求1所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于：还包括视觉系统(7)、硅片检测机构(8)和传送带(9)，电控系统(1)通过导线与机械手(6)、视觉系统(7)和传送带(9)连接，硅片检测机构(8)设置在传送带(9)侧面的下方。

3.如权利要求1所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于：所述的硅片导向架(4)底部装置和机械手(6)装置均设置成与水平方向成倾斜，角度在1～45度之间。

4.如权利要求1所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于：所述的超声波发生器(11)安装在水箱(2)侧部偏上靠近硅片(5)的地方。

5.如权利要求1所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于：所述的滚轮(10)安装在硅片导向架(4)上部硅片运动方向的一端，滚轮(10)的转动方向与机械手(6)的运动方向是相反的。

6.如权利要求1或5所述的一种湿硅片自动分片装置，其特征在于：所述的滚轮(10)采用弹性材料。