[实用新型]用于面板导电薄膜的声光调制曲线工艺的雷射装置

说明书

技术领域

本创作是有关一种雷射装置，特别是用于面板导电薄膜的声光调制曲线工艺的雷射装置。

背景技术

由于光电产业的发展，液晶屏幕与触控面板已广泛使用于生活中，如提款机、液晶电视、PDA、手机等。其中透明导电薄膜为重要组件，ITO(铟锡氧化物)为目前主要使用为透明导电薄膜的材质，其具有透光性及导电性，因此将ITO镀于透明玻璃或硬性塑料上可使不导电的玻璃或硬性塑料具有导电性，因铟含量短缺、价格昂贵，目前朝向替代材质发展，如铝氧化锌(AZO)与镓氧化锌(GZO)等，但其透光性及阻值表现均不如ITO，因此目前产业上仍以ITO做为透明导电材料。

请参照图1，为公知电阻式触控面板的示意图。上层PET(聚乙烯对苯二甲酸酯)薄膜a12与下层玻璃a14均镀有ITO a16，分别刻线为X轴与Y轴的导线，使两者不导电的材质具有导电性，在上下两层间以均匀分布的点状间隙子a18分隔，以笔或手指触压触控面板a10时，上下两层的X轴ITO a16与Y轴ITO a16接触而短路形成电压变化，藉以得知触碰位置。

液晶屏幕利用上、下ITO导电玻璃组成液晶盒，ITO导电玻璃的ITO蚀刻为经设计的图案的电极，透过对电极施以电压使液晶盒内的液晶改变排列方式，使液晶对光的反射产生变化而形成相对应图像。

触控面板及液晶屏幕皆需蚀刻ITO为所需图案或线路，ITO蚀刻工艺传统采黄光湿工艺，但其缺点为设备昂贵、步骤繁琐且需处理产生的化学废弃物。因此有以雷射蚀刻的干工艺方式蚀刻ITO，常见作法有三种：第一种作法采用多个或数组式扫瞄振镜模块，配合各自的雷射光源同时对ITO薄膜进行雷射划线，去除部分ITO而得所需的曲线电路，此法快速但成本高且振镜于大面积扫瞄常造成曲线衔接不准确而造成曲线重叠的问题；第二种作法为采用单一雷射光源及扫瞄振镜模块进行矩阵扫瞄划线，然其速度慢无法满足量产的需求；第三种方式采用XY机台配合聚焦头模块进行曲线划线，无衔接的误差，但因刻划的曲线变化细微，在平台结构上的运动控制会有速度不稳定或缓慢的问题。

发明内容

有鉴于此，本创作提出一种用于面板导电薄膜的声光调制快速曲线工艺的雷射装置，以声光快速控制雷射光角度，此接近声速的移动速度，可快速加工面板，且所划线的曲线无衔接误差。

本创作提出的雷射装置包含雷射模块、线性马达及线性平台。雷射模块包含雷射光源、监控单元、对位视觉单元及光束运动单元，雷射光源用以产生第一激光束，监控单元用以接收并校正第一激光束后输出第二激光束，对位视觉单元用以观测并辅助定位监控单元输出的第二激光束输出的位置，光束运动单元接收第二激光束，并以声光调制方式控制第二激光束的角度，用以烧蚀面板的导电膜而形成曲线。线性马达连接于雷射模块，用以调整雷射模块于垂直于面板的Z轴方向的位置，控制第二激光束精准聚焦于导电膜上。线性平台承载面板，用以沿平行于该面板的X轴方向移动面板，使完成其余曲线图案工艺。

有关本创作的较佳实施例及其功效，兹配合附图说明如后。

附图说明

图1为公知触控面板的示意图。

图2为本创作的示意图。

图3为于面板刻划曲线的示意图。

符号说明

a10：触控面板            a12：PET薄膜

a14：玻璃                a16：ITO

a18：间隙子              20：雷射模块

22：雷射光源             24：监控单元

241：雷射光闸            242：第一分光镜

243：光谱仪              244：雷射功率衰减器

245：第二分光镜          246：光功率计

247：第一光曲路器        248：光束整形器

249：准直扩束器          250：第二光曲路器

251：第三分光镜          252：第三光曲路器

253：光束轮廓分析仪      26：对位视觉单元

28：光束运动单元         282：声光开关

284：线性聚光镜          30：线性马达

32：遮蔽护罩             40：线性平台

50：面板                 52：基板

54：导电膜               56：转动范围

58：曲线图案             60：第一激光束