[实用新型]用于面板导电薄膜的声光调制曲线工艺的雷射装置

权利要求书

1.一种用于面板导电薄膜的声光调制曲线工艺的雷射装置，用以加工一面板，该面板包含一导电膜与一基板，其特征在于，该雷射装置包含：

一雷射模块，该雷射装置包含：

一雷射光源，用以产生一第一激光束；

一监控单元，用以接收并校正该第一激光束后输出一第二激光束；

一对位视觉单元，用以接收该监控单元输出的该第二激光束，观测并辅助定位该第二激光束输出的位置；及

一光束运动单元，接收经该对位视觉单元的第二激光束，以声光调制方式控制该第二激光束的角度，用以烧蚀该面板的该导电膜而形成曲线；

一线性马达，连接于该雷射模块，用以沿垂直于该面板表面的一Z轴方向调整该雷射模块的位置；及

一线性平台，用以沿平行于该导电膜表面的一X轴方向移动该面板。

2.根据权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该雷射模块更包含一屏蔽护罩，环绕遮蔽该监控单元。

3.根据权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该雷射光源产生的该第一激光束为355nm波长的紫外光雷射。

4.根据权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该面板的该导电膜材质为ITO。

5.根据权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该面板的该基板材质为玻璃。

6.根据权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该面板的该基板材质为PET。

7.根据权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该监控单元包含：

一雷射光闸，接收该第一激光束，并使该第一激光束于电源开启时通过；

一第一分光镜，分光通过该雷射光闸的该第一激光束为90度角偏移的一第一反射光束及与原行进方向相同的一第一横向偏移光束；

一光谱仪，接收该第一横向偏移光束，用以分析该第一激光束的光谱；

一雷射功率衰减器，接收该第一反射光束，用以控制该第一反射光束的功率；

一第二分光镜，分光通过该雷射功率衰减器的该第一反射光束为90度角偏移的一第二反射光束及与原行进方向相同的一第二横向偏移光束；

一光功率计，接收该第二反射光束，用以分析该第二反射光束的功率；

一第一光曲路器，用以将该第二横向偏移光束90度位移；

一光束整形器，接收经该第一光曲路器90度位移的该第二横向偏移光束，用以将该第二横向偏移光束的高斯能量分布转为平顶式能量分布；

一准直扩束器，接收经光束整形器的该第二横向偏移光束，用以校准该第二横向偏移光束行进方向及调整该第二横向偏移光束的直径；

一第二光曲路器，用以将经该准直扩束器的该第二横向偏移光束90度位移；

一第三分光镜，分光通过该第二光曲路器的该第二横向偏移光束为90度角偏移的该第二激光束及与原行进方向相同的一第三横向偏移光束；

一第四光曲路器，用以将该第三横向偏移光束90度位移；及

一光束轮廓分析仪，接收该第四光曲路器90度位移的该第三横向偏移光束，用以分析该第三横向偏移光束，当光参数超出预设范围时发出警告。

8.根据权利要求1所述的雷射装置，其特征在于，该光束运动单元包含：

一声光开关，用以快速控制经该对位视觉单元的该第二激光束的角度；

一线性聚光镜，用以聚光该第二雷射光至该面板。

9.根据权利要求8所述的雷射装置，其特征在于，该线性聚光镜为平场聚焦透镜。