[发明专利]透明板状体的缺陷检查方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及透明板状体的缺陷检查方法及装置，特别涉及各种显示器(LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)、PDP(Plasma Display Panel：等离子显示面板)、EL(Electroluminescence：电致发光)、FED(Field Emission Display：场致发射显示器)或者液晶投影电视机等)用的玻璃基板、汽车及其它车辆等用玻璃的原板、建筑用平板玻璃的缺陷检查方法及装置。

背景技术

目前，在透明板状体的缺陷检查中，要求区分气泡、异物或者伤痕等缺陷和对透明板状体的品质没有影响的灰尘及污点等疑似缺陷。另外，有时根据存在缺陷的透明板状体的部位(主表面、内部或者背面的某个部位)及位于内部时缺陷的深度，所要求的品质等级不同。因此，不仅要求检测出缺陷，还要求确定透明板状体的厚度方向上的缺陷的位置。

除了这些检测性能的要求以外，对于缺陷检查方法，还有如下产业应用上的要求：检查性能不依赖于透明板状体的尺寸而劣化；对多种厚度的透明板状体也能适用；对以平板玻璃的浮法为代表的透明板状体的连续成型过程(on line：联机)也能适用等。

作为区分缺陷和疑似缺陷的方法，如日本特开平8-201313号公报所公开的那样，存在使用组合有棒状光源和遮光罩的透射暗场光学系统的方法。在该方法中，利用缺陷和疑似缺陷的光散射方向性的差异，区分缺陷和疑似缺陷。但是，因缺陷的种类不同光散射方向性不同，而疑似缺陷也呈现多种光散射方向性，因此，仅利用光散射方向性难以区分缺陷和疑似缺陷。另外，由于使用透射光学系统，日本特开平8-201313号公报所公开的方法中难以确定透明板状体的厚度方向上的缺陷位置。

另一方面，作为区分缺陷和疑似缺陷的其它方法，有如日本特开平10-339705号公报及日本特开平11-264803号公报所公开的如下方法：自透明板状体的端面向内部照射光，由此检测出缺陷所引起的散射光(下面称为边缘光方式)。自端面向透明板状体内部入射的光一边被反复全反射，一边在板状体的内部行进，但在有缺陷的部位散射，向透明板状体的主表面侧或者背面侧射出。此时，在透明板状体内部行进的光不会因透明板状体的主表面或者背面上附着的疑似缺陷而散射，因此，如果在透明板状体的主表面侧及背面侧上设置照相机的话，能够仅检测出缺陷。再者，核对透明板状体的主表面侧和背面侧上配置的照相机的检测信号，由此能够对透明板状体厚度方向上的缺陷位置进行一定程度上的判别。

专利文献1：日本特开平8-201313号公报

专利文献2：日本特开平10-339705号公报

专利文献3：日本特开平11-264803号公报

发明内容

但是，现有的边缘光方式中存在若干问题。自端面向透明板状体入射的光被透明板状体自身吸收，因此，在透明板状体的中央部(平面内的中央部)和端部上，对缺陷供给的光量不同。如果透明板状体的尺寸小的话，光量的差异不会成为很大的问题，但是随着透明板状体的尺寸变大，供给光量的差异变得显著，在检测性能上呈现面内分布。该情况在透明板状体的厚度增加时会进一步恶化，因此，可以说边缘光方式与其它方式相比与厚度有关的可适用范围较窄。

特别在近年来的液晶面板中，正在从现有的第5代(1100mm×1250mm)向第6代(1500mm×1850mm)或者第7代(1870mm×2200mm)的超大尺寸切换。因此，存在热切期望能实现基板检查的自动化的新技术出现的情形。

根据上述，本发明的一个目的在于解决伴随透明板状体增大而检测性能降低的现有技术的问题。另外，本发明的其它目的在于，比现有技术更准确地确定透明板状体厚度方向上的缺陷位置。

为了实现上述目的，本发明提供一种透明板状体的缺陷检查方法，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，包括：使用具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像的步骤；使用具有配置在透明板状体的背面侧的线状光源及照相机的第二反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像的步骤；对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；及根据该搜索的结果确认在所述第一及第二图像的彼此对应的位置上是否存在缺陷候补，在从所述第一及第二图像双方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为缺陷，而在仅从所述第一及第二图像中的一方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为疑似缺陷的步骤。