[发明专利]透明板状体的缺陷检查方法及装置

权利要求书

1.一种透明板状体的缺陷检查方法，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，包括：

使用具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像的步骤；

使用具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机的第二反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像的步骤；

对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；及

根据该搜索的结果确认在所述第一及第二图像的彼此对应的位置上是否存在缺陷候补，在从所述第一及第二图像双方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为缺陷，而在仅从所述第一及第二图像中的一方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为疑似缺陷的步骤。

2.一种透明板状体的缺陷检查方法，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，包括：

使用具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像的步骤；

使用具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机的第二反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像的步骤；

对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；

根据通过该搜索得到的缺陷候补的图像的对比度判断是实像还是虚像的步骤；及

根据所述实像或虚像的出现图案确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面的步骤。

3.一种透明板状体的缺陷检查方法，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，包括：

使用具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像的步骤；

使用具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机的第二反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像的步骤；

对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；

求出同一缺陷候补出现在同一照相机中的两个图像之间的距离的步骤；及

根据所述两个图像之间的距离确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面的步骤。

4.如权利要求3所述的透明板状体的缺陷检查方法，还具有如下步骤：将所述透明板状体的厚度作为已知信息，并且根据同一缺陷出现在同一照相机中的两个图像之间的距离，求出缺陷在所述透明板状体的厚度方向上的深度。

5.一种透明板状体的缺陷检查装置，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，具有：

第一反射型明场光学系统，具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像；

第二反射型明场光学系统，具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像；及

计算机，对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补，根据该搜索的结果确认在第一及第二图像的彼此对应的位置上是否存在缺陷候补，在从所述第一及第二图像双方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为缺陷，而在仅从所述第一及第二图像中的一方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为疑似缺陷。

6.一种透明板状体的缺陷检查装置，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，具有：

第一反射型明场光学系统，具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像；

第二反射型明场光学系统，具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像；及

计算机，对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补，根据通过该搜索得到的缺陷候补的图像的对比度判断是实像还是虚像，根据所述实像或虚像的出现图案确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面。