[发明专利]极端条件下测量材料或电子器件交流阻抗特性的方法及系统

权利要求书

1.一种极端条件下测量材料或电子器件交流阻抗特性的方法，其特征在于操作步骤为：

a.综合物性测量系统(2)为测试提供所需的极低温和强磁场条件，以及调节样品(5)或电子器件与磁场夹角方向；待测样品(5)或器件用双面胶及夹具固定于样品托(6)或旋转杆上，样品托(6)或旋转杆置于液氦杜瓦(4)样品腔内；

b.通过循环设置LCR仪表(3)测量参数实现扫描测量功能；

c.在样品(5)或器件温度磁场值达到预设值后，利用LCR仪表(3)测量样品(5)或器件交流阻抗；

d.消除误差：在不加载样品或器件情况下，分别测量LCR表(3)与样品托(6)间电缆(7)开路和短路时对应的各种交流频率阻抗；然后在加载样品(5)或器件情况下，通过扣除掉这个背底阻抗来得到较精确的结果。

2.如权利1要求所述极端条件下测量材料或电子器件交流阻抗特性的方法，其特征在于：极端条件的极低温温度范围：2-380K。

3.如权利1要求所述极端条件下测量材料或电子器件交流阻抗特性的方法，其特征在于：极端条件的强磁场范围：0-9T。

4.一种极端条件下测量材料或器件交流阻抗特性的系统，包括一个综合物性测量系统(2)、一个LCR仪表(3)和一个微机终端(1)，其特征在于：所述综合物性测量系统(2)和LCR仪表(3)通过GPIB接口总线与微机终端(1)相连，该微机终端(1)包含一个数据采集分析系统。

5.如权利要求4所述测量材料或器件交流阻抗特性的系统，其特征在于：所述数据采集分析系统具有采集整个系统数据，包括样品(5)或器件的温度和磁场值及LCR仪表(3)测量结果以及时显示各项数值，数据绘图，完成数据存盘功能。

6.如权利要求4所述测量材料或器件交流阻抗特性的系统，其特征在于：所述数据采集分析系统通过综合物性测量系统控制软件MultiVu设定测量脚本程序，接收综合物性测量系统发送的消息代码控制LCR表(3)测量。

7.如权利要求1和权利要求4所述测量材料或器件交流阻抗特性的方法和系统，其特征在于：所述数据采集分析系统通过循环设置LCR仪表(3)测量参数实现扫描测量功能。