[发明专利]具有曲线延伸电极结构的碲镉汞红外线列探测器

权利要求书

1.一种具有曲线延伸电极结构的碲镉汞红外线列探测器，其特征在于：曲线延伸电极结构由内弧形结构区和电极延伸结构区组成，内弧形结构区位于光敏面与电极延伸结构之间，和光敏面形成欧姆接触，内弧形结构区和电极延伸结构区交界处为一个半椭圆线；而电极延伸结构区为内弧形结构区的电极延长部分，为一类似矩形形状结构。

2.根据权利要求1所述的一种具有曲线延伸电极结构的碲镉汞红外线列探测器，其特征在于：所述的内弧形结构区的电极的结构为在第二面碲镉汞光敏面氧化层上由下往上依次生长以下金属层：厚度为的内弧形区铟层(6)以及厚度为的内弧形区金层(7)。

3.根据权利要求1所述的一种具有曲线延伸电极结构的碲镉汞红外线列探测器，其特征在于：所述的电极延伸结构区的结构为在蓝宝石衬底上由下至上依次生长以下金属层：厚度为的电极延伸区第一铟层(8)、厚度为的电极延伸区第一金层(9)、厚度为的电极延伸区第二铬层(10)以及厚度为的电极延伸区第二金层(11)。

4.根据权利要求1所述的一种具有曲线延伸电极结构的碲镉汞红外线列探测器，其特征在于：所述的内弧形结构区和电极延伸结构区的半椭圆交界线的结构尺寸按以下方法确定：

椭圆线的两个短轴端与电极边缘的垂直距离为c应在10微米至20微米之间；长轴端点与光敏面的垂直距离d应该在15微米至20微米之间；内弧形结构的椭圆长轴半直径a与短轴直径b分别：

a＝L-d                 (1)

b＝M-2c                (2)

其中L、M为电极内弧形结构区的设计尺寸，L为电极内弧形结构区在长轴方向长度，M为电极内弧形结构区在短轴方向长度。