[发明专利]利用电子散斑相移技术测量物体三维面形的方法及其系统

权利要求书

1.一种利用电子散斑相移技术测量物体三维面形的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将被测物体固定在一参考平面上，参考平面与一相移器连接，参考平面大于被测物体，参考平面能够在竖直平面内做小于5度角的转动；

2)将被测物体连同参考平面一起做小于5度角的偏转，利用光的干涉，在被测物体表面产生明暗相间的干涉条纹，即通过物体的偏转利用电子散斑干涉在物体表面产生干涉条纹；

3)通过相移器对被测物体表面施加相移使物光的光程发生改变，进而引起参考光和物光的相位差的改变，对步骤2)得到的弯曲的干涉条纹做等四步相移，这些明暗相间的干涉条纹会根据所加相移的大小做相应的平移，利用相移技术提取出物面的相位信息，得到包裹相位图，由于相位被包裹在(-π，π)之间，用相位展开算法把相位连续化求出被测物体的真实相位；根据相位和高度的映射关系得出物面的高度分布，从而得到物体的面形。

2.一种利用电子散斑相移技术测量物体三维面形的系统，其特征在于：其包括激光器、相移器和摄像头，各元器件位置关系如下：激光器与半透反射镜I相对应，半透反射镜I分别与扩束镜I和反射镜I相对应，反射镜I、反射镜II和反射镜III依次相对应，反射镜III与扩束镜II相对应，扩束镜II与半透反射镜II相对应，半透反射镜II与摄像头相对应；扩束镜I与设置于参考平面上的被测物体相对应，参考平面与一相移器连接，被测物体与透镜相对应，透镜与半透反射镜II相对应。