[发明专利]采用电沉积制备氟化锶或稀土掺杂氟化锶薄膜的方法

权利要求书

1.一种采用电沉积制备氟化锶薄膜的方法，其特征在于包括如下步骤：

1)用丙酮清洗ITO导电玻璃2～3次，再用去离子水将ITO导电玻璃放在超声波清洗器里清洗10～30分钟，接着将ITO导电玻璃放在10％的硝酸溶液中活化10～30秒，最后用去离子水清洗，待用；

2)0.01～0.5摩尔/升的乙二胺四乙酸二钠与锶离子配合物溶液中，加入0.02～1摩尔/升的抗坏血酸钠，再加入0.04～2摩尔/升的氟化铵溶液，调节溶液PH值为6～9，得到电解液，待用；

3)以ITO导电玻璃为工作电极，铂电极为对电极，甘汞电极为参比电极组成三电极体系，置于电解液中进行电沉积，相对于甘汞电极的阳极沉积电位为0.8V～1.4V，沉积温度为25～50℃，得到氟化锶薄膜。

2.一种采用电沉积制备稀土掺杂氟化锶薄膜的方法，其特征在于包括如下步骤：

1)用丙酮清洗ITO导电玻璃2～3次，再用去离子水将ITO导电玻璃放在超声波清洗器里清洗10～30分钟，接着将ITO导电玻璃放在10％的硝酸溶液中活化10～30秒，最后用去离子水清洗，待用；

2)0.01～0.5摩尔/升的氯化锶溶液中加入0.0002～0.05摩尔/升的硝酸铕或硝酸铽，加入0.0102～0.55摩尔/升的乙二胺四乙酸二钠，形成配合物溶液，加入0.02～1摩尔/升的抗坏血酸钠，再加入0.04～2摩尔/升的氟化铵溶液，调节溶液PH值为6～9，得到电解液，待用；

3)以ITO导电玻璃为工作电极，铂电极为对电极，甘汞电极为参比电极组成三电极体系，置于电解液中进行电沉积，相对于甘汞电极的阳极沉积电位为0.8V～1.4V，沉积温度为25～50℃，得到稀土掺杂的氟化锶薄膜。