[发明专利]含铜材料用蚀刻剂组合物及含铜材料的蚀刻方法

权利要求书

1.一种含铜材料用蚀刻剂组合物，其特征在于，

由水溶液构成，所述水溶液含有：

(A)0.1～15质量％的从铜离子和铁离子中选择的至少一种氧化剂成分；

(B)0.1～20质量％的氯化氢；以及

(C)0.001～5质量％的用下述通式(1)表示，并且数均分子量为500～1,500的非离子型表面活性剂；

R-O-X-H           (1)

在所述通式(1)中，R表示碳原子数为8～18的烷基，X表示环氧乙烷单元与环氧丙烷单元无规聚合或嵌段聚合的聚环氧烷基。

2.根据权利要求1所述的含铜材料用蚀刻剂组合物，其特征在于，所述通式(1)中用X表示的聚环氧烷基中的环氧丙烷单元与环氧乙烷单元的数量比为0.25～0.5。

3.一种含铜材料的蚀刻方法，其特征在于，对于形成厚度为10～40μm及蚀刻空间为10～60μm的含铜材料的图案，使用权利要求1或2所述的蚀刻剂组合物。