[发明专利]显示装置

权利要求书

1.一种显示装置，在形成有显示部的基板上形成有多个薄膜晶 体管，其特征在于，

上述薄膜晶体管包括：

栅电极；

覆盖上述栅电极而形成的栅极绝缘膜；

形成在上述栅极绝缘膜的上表面，且当俯视观察时在上述栅电极 的形成区域内形成有开口的层间绝缘膜；

隔着上述开口而配置在上述层间绝缘膜的上表面的一对半导体 膜；

跨上述层间绝缘膜的上述开口而形成，且当俯视观察时形成在上 述栅电极的形成区域内，并且与上述一对半导体膜电连接的多晶半导 体层；以及

分别与上述一对半导体膜重叠且不与上述多晶半导体层重叠而 形成的一对电极。

2.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，

上述一对半导体膜各自与上述多晶半导体层的电连接是通过在 上述一对半导体膜各自的一部分上重叠上述多晶半导体层而形成的。

3.根据权利要求2所述的显示装置，其特征在于，

上述一对半导体膜的重叠有上述多晶半导体层的部分的膜厚比 未重叠上述多晶半导体层的部分的膜厚大。

4.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，

上述一对半导体膜各自与上述多晶半导体层的电连接是通过上 述一对半导体膜各自的侧壁面与上述多晶半导体层的侧壁面抵接而 形成的。

5.根据权利要求4所述的显示装置，其特征在于，

上述一对半导体膜各自的膜厚比覆盖上述层间绝缘膜的上述开 口而形成的上述多晶半导体层的厚度大。

6.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，

上述薄膜晶体管的一对电极中的一方电极通过形成在上述层间 绝缘膜和栅极绝缘膜上的通孔与上述栅电极电连接。

7.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，

当俯视观察时，从上述多晶半导体层的沟道长度方向的各边露出 有上述层间绝缘膜的上述开口。

8.一种显示装置，在形成有显示部的基板上形成有多个薄膜晶 体管，其特征在于，

上述薄膜晶体管包括：

栅电极；

形成在上述栅电极上，且当俯视观察时在上述栅电极的形成区域 内形成有开口的层间绝缘膜；

覆盖上述层间绝缘膜而形成的栅极绝缘膜；

跨上述层间绝缘膜的上述开口而形成，且当俯视观察时在上述栅 电极的形成区域内依次层叠而形成的岛状的上述栅极绝缘膜和多晶 半导体层；以及

隔着上述开口而配置在上述层间绝缘膜的上表面的一对电极，

其中，上述一对电极各自包括依次层叠有非晶态半导体膜和金属 膜的层叠体，并且上述一对电极各自的一部分与上述多晶半导体层重 叠而形成。

9.根据权利要求8所述的显示装置，其特征在于，

在上述薄膜晶体管中，上述栅极绝缘膜在上述栅电极的形成区域 内被加工成岛状，上述一对电极中的一方电极通过形成在上述层间绝 缘膜上的通孔与上述栅电极电连接。

10.根据权利要求8所述的显示装置，其特征在于，

当俯视观察时，从上述多晶半导体层的沟道长度方向的各边露出 有上述层间绝缘膜的上述开口。

11.根据权利要求8所述的显示装置，其特征在于，

上述多晶半导体层是多晶半导体层和非晶态半导体层的层叠体。

12.根据权利要求8所述的显示装置，其特征在于，

在上述多晶半导体层的上表面具有无机绝缘膜，上述一对电极分 别被形成为：它们的相对的端部与上述多晶半导体层重叠，并且还与 上述无机绝缘膜重叠。