[发明专利]抗反射涂层组合物

权利要求书

1.一种抗反射涂层组合物，包括不含芳族发色团的聚合物、酸产生剂和任选的交联剂，其中该聚合物包括衍生自二酸、三酸、二酸酐或它的相应的四酸或前述化合物的混合物的结构单元和衍生自二醇、二硫醇、三醇、三硫醇、含二环氧的化合物、含三环氧的化合物或前述化合物的混合物的结构单元，其中所述二醇、二硫醇、三醇、三硫醇、含二环氧的化合物或含三环氧的化合物含有一个或多个氮和/或硫原子或含有一个或多个亚烷基。

2.权利要求1的抗反射涂层组合物，其中该聚合物包括结构(1)或(2)的重复单元

其中Y和Y1各自独立地为非芳族连接结构部分；Z和Z1各自独立地为衍生自二醇、二硫醇、三醇、三硫醇、含二环氧的化合物或含三环氧的化合物的结构单元；R₁和R₁₀各自独立地为氢或衍生自含单环氧的化合物的结构单元；R₂和R₂₀各自独立地为R₁或衍生自二硫醇、三硫醇、含二环氧的化合物或含三环氧的化合物的结构单元；Q1、Q2、Q3和Q4各自独立地为直接键或未取代或取代的C_1-4亚烷基；h和h1各自独立地为0或1；和k或k1各自独立地为0或1。

3.权利要求2的抗反射涂层组合物，其中h为0，k为1，或其中h为1，k为1。

4.权利要求1至3任一项的抗反射涂层组合物，其中该组合物进一步包括芳族发色团。

5.权利要求2至4任一项的抗反射涂层组合物，其中Y选自未取代或取代的C₁-C₂₀亚烷基、未取代或取代的C₁-C₂₀脂环族和未取代或取代的C₁-C₂₀杂脂环族结构部分，优选选自

6.权利要求1至5任一项的抗反射涂层组合物，其中所述二酸、三酸、二酸酐或它的相应的四酸组分或前述化合物的混合物的结构单元衍生自

其中R₆为2至20个碳原子的线性或支化亚烷基链，其还可以含有醚氧或酯基，和R₇为氢或甲基。

7.权利要求1至6任一项的抗反射涂层组合物，其中所述二醇、二硫醇、三醇、三硫醇、含二环氧的化合物、含三环氧的化合物或前述化合物的混合物的结构单元衍生自

其中R₁₀₀为氢、烷基或烯基。

8.权利要求1至7任一项的抗反射涂层组合物，其中聚合物具有选自以下的重复单元

9.权利要求2至8任一项的抗反射涂层组合物，其中R₁为含单环氧的化合物的残基。

10.权利要求1至9任一项的抗反射涂层组合物，其中该抗反射涂层组合物进一步包括溶剂，所述溶剂优选选自丙二醇甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、环己酮、2-庚酮、3-乙氧基-丙酸乙酯、丙二醇甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、γ-戊内酯、3-甲氧基丙酸甲酯及其混合物。