[发明专利]半导体废气处理的酸碱中和装置

权利要求书

1.一种半导体废气处理的酸碱中和装置，其特征在于，包括：

一自动吸入器，连接一喷嘴，且该喷嘴延伸至一废气洗涤塔内，该废气洗涤塔内具相通的一上层反应腔室及一下层循环水槽，且该喷嘴座落于该反应腔室内；

一清水供应端，连接该自动吸入器，以供应清水至该自动吸入器；

一中和液供应端，连接该自动吸入器，以供应中和液至该自动吸入器，该中和液供应端并连接该循环水槽，且该自动吸入器内的该清水与该中和液混合形成一混合液，并排流至该喷嘴；及

一氮气供应端，连接该喷嘴，以供应氮气加压该混合液呈雾状喷洒至该反应腔室内，而使该混合液与该反应腔室内的废气反应，并流入该循环水槽内，且该中和液供应端于该循环水槽内的混合液的酸碱值超过一预设范围时，供应中和液至该循环水槽内，以中和该循环水槽内的混合液。

2.如权利要求1所述半导体废气处理的酸碱中和装置，其特征在于，更加包含：

一酸碱值控制器，该酸碱值的预设范围设定于该控制器内；

一酸碱值侦测器，连接该控制器，且该侦测器具一延伸至该循环水槽内的侦测元件，以侦测该循环水槽内混合液的酸碱值，并提供至该控制器，而与该酸碱值的预设范围进行比对；

一第一阀体，串接于该清水供应端与该自动吸入器之间，并接受该控制器控制，而启、闭清水供应至该自动吸入器；

一第二阀体，串接于该中和液供应端与该自动吸入器之间，并接受该控制器控制，而启、闭中和液供应至该自动吸入器；及

一第三阀体，串接于该中和液供应端与该循环水槽之间，并接受该控制器控制，而启、闭中和液供应至该循环水槽。

3.如权利要求1或2所述半导体废气处理的酸碱中和装置，其特征在于：该清水供应端与该自动吸入器之间串接一调整阀，以调整供应清水至该自动吸入器的流量。

4.如权利要求1或2所述半导体废气处理的酸碱中和装置，其特征在于：该中和液供应端与该自动吸入器之间串接一隔膜阀，以调整供应中和液至该自动吸入器的流量。