[发明专利]电感器以及提高电感器的品质因子的方法无效
| 申请号： | 200910046711.1 | 申请日： | 2009-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101819863A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 何丹;程仁豪;包自意 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01F27/33 | 分类号： | H01F27/33;H01F27/28;H01L27/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 王一斌;王琦 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电感器 以及 提高 品质 因子 方法 | ||
1.一种电感器，包括半导体衬底、至少一层金属层和电感线圈，其特征在于，该电感器还包括：用于隔绝基底噪声的保护环；
所述电感线圈，设置于所述电感器的顶层的金属层中；
所述保护环的侧壁的底部设置于所述半导体衬底之上，所述保护环的侧壁的顶部通过通孔与所述电感器的第一金属层连接，且所述保护环的侧壁环绕于所述电感线圈在所述半导体衬底上的垂直投影的四周。
2.根据权利要求1所述的电感器，其特征在于：
所述保护环的侧壁竖直设置于所述半导体衬底与第一金属层之间。
3.根据权利要求1所述的电感器，其特征在于：
所述保护环的侧壁所围成的底面为矩形。
4.根据权利要求1所述的电感器，其特征在于：所述矩形为正方形。
5.根据权利要求1所述的电感器，其特征在于：
所述电感线圈与所述保护环的侧壁在水平方向上的距离相等。
6.根据权利要求5所述的电感器，其特征在于：
所述电感线圈与所述保护环的侧壁在水平方向上的距离为0～30微米。
7.根据权利要求5所述的电感器，其特征在于：
所述电感线圈与所述保护环的侧壁在水平方向上的距离为30微米。
8.根据权利要求1所述的电感器，其特征在于：
所述电感器为差分电感器或3端子差分电感器。
9.一种提高电感器的品质因子的方法，其特征在于，该方法包括：
在所述电感器的顶层的金属层中设置一个电感线圈；
在所述电感器中设置一个用于隔绝基底噪声的保护环，所述保护环的侧壁的底部设置于所述电感器的衬底之上，所述保护环的侧壁的顶部通过通孔与所述电感器的第一金属层连接，且所述保护环的侧壁环绕于所述电感线圈在半导体衬底上的垂直投影的四周。
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