[发明专利]电阻存储装置及其制造方法

权利要求书

1.一种电阻存储装置，包括：

第一电极；

第一绝缘层，布置在第一电极上，通过第一绝缘层中的第一孔暴露第一 电极的第一部分；

第一可变电阻层，接触第一电极的暴露的第一部分，并延伸到第一绝缘 层上；

第一开关装置，电连接到第一可变电阻层，第一开关装置布置在第一可 变电阻层上；

第一中间电极，设置在第一可变电阻层和第一开关装置之间，

其中，第一可变电阻层、第一中间电极和第一开关装置利用相同的蚀刻 掩模形成。

2.如权利要求1所述的电阻存储装置，其中，第一开关装置为二极管。

3.如权利要求1所述的电阻存储装置，其中，所述电阻存储装置还包括：

第二电极，设置在第一开关装置上。

4.如权利要求3所述的电阻存储装置，其中，第一开关装置形成在第一 孔外。

5.如权利要求3所述的电阻存储装置，其中，第一开关装置的至少一部 分形成在第一孔内。

6.如权利要求3所述的电阻存储装置，其中，第一电极和第二电极布置 为彼此交叉的电线的图案。

7.如权利要求3所述的电阻存储装置，还包括：

层间绝缘层，布置在第一绝缘层上在第一可变电阻层、第一中间电极和 第一开关装置周围。

8.如权利要求3所述的电阻存储装置，还包括：

第二开关装置和第二中间电极，顺序堆叠在第二电极上；

第二绝缘层，布置在第二中间电极上，通过第二绝缘层中的第二孔暴露 第二中间电极的一部分；

第二可变电阻层，接触第二中间电极的暴露部分，并在第二孔周围的第 二绝缘层上延伸；

第三电极，接触第二可变电阻层。

9.如权利要求8所述的电阻存储装置，其中，第二绝缘层覆盖第二中间 电极、第二开关装置和第二电极的侧表面。

10.如权利要求8所述的电阻存储装置，其中，第二电极和第三电极布 置为彼此交叉的电线的图案。

11.如权利要求10所述的电阻存储装置，其中，所述电阻存储装置是具 有一二极管一电阻器单元结构的多层交叉点电阻存储器。

12.一种电阻存储装置，包括：

多个第一电极，平行布置；

第一绝缘层，布置在所述多个第一电极上，通过第一绝缘层中的多个第 一孔暴露所述多个第一电极中的至少一个第一电极的多个单独的部分；

堆叠结构，与所述多个第一孔中的每个第一孔对应，每个堆叠结构包括 第一可变电阻层部分、第一开关装置和第一中间电极，第一可变电阻层部分 接触所述多个第一电极中的一个第一电极的对应的暴露部分，并延伸到第一 绝缘层上，第一开关装置电连接到第一可变电阻层部分，第一开关装置布置 在第一可变电阻层部分上，第一中间电极设置在第一可变电阻层部分和第一 开关装置之间，

其中，第一可变电阻层、第一中间电极和第一开关装置利用相同的蚀刻 掩模形成。

13.如权利要求12所述的电阻存储装置，其中，堆叠结构还包括：

第二电极，设置在第一开关装置上。

14.如权利要求13所述的电阻存储装置，还包括：

第二开关装置和第二中间电极，顺序堆叠在第二电极上；

第二绝缘层，布置在第二中间电极上，通过第二绝缘层中的第二孔暴露 第二中间电极的一部分；

第二可变电阻层部分，接触第二中间电极的暴露部分，并在第二孔周围 的第二绝缘层上延伸；

第三电极，接触第二可变电阻层部分。