[发明专利]基板输送方法

说明书

技术领域

本发明涉及基板输送方法，特别涉及将多张基板一起输送的基板输送方法。 

背景技术

在近年，为了处理速度的高速化，开发有能够将多张基板同时搬运的多张输送型的输送机器人。 

图5为用以说明基板输送方法的现有技术的内容的俯视图。该图中所记载的输送机器人10的可自由伸缩的臂部20的一端被安装在旋转轴12a、12b上，而另外一端上设有手25。手25具有第1、第2载置部15a、15b，各载置部15a、15b上能够逐张地载置基板16a、16b。 

若使旋转轴12a、12b和安装有该旋转轴12a、12b的台座11旋转，则手25进行直线移动与旋转移动。 

该输送机器人10如图6所示那样被配置在多腔室型的真空处理装置50的输送室51的内部，并将被配置有基板的手25插入到与输送室51连接的处理室54₂的内部，将基板配置在处理室54₂内。 

当在该处理室54₂内结束了薄膜形成等的真空处理后，将手25插入到处理室54₂内，将基板承载于手25上并搬出。 

在处理室54₁、54₂的内部，基板的配置位置已被确定，若是将该位置设为第1、第2处理位置8a、8b，则需要将第1、第2载置部15a、15b上的基板16a、16b分别准确地配置在第1、第2处理位置8a、8b上。 

但是，就算是能够将第1、第2载置部15a、15b中任一方对位于其所对应的处理位置8a或8b上，由于设置误差等，会使得第1、第2处理位置8a、8b间的距离或朝向无法与第1、第2载置部15a、15b间的距离或朝向完全一致，因此，无法将第1、第2载置部15a、15b这两者同时相对于第1、第2处理位置8a、8b进行对位。 

图5表示由于设置误差而使得手25的直线移动方向V与连结第1、第2载置部15a、15b的中心点Pa、Pb的线段F₁所成的角度θ1、θ 2(θ1＝θ2)，和手25的直线移动方向V与连结第1、第2处理位置8a、8b的中心点Qa、Qb的线段F₂所成的角度φ1、φ2(φ1＝φ2)为不相等的情况。若是存在这种设置误差，则仅通过臂部20的伸缩与台座11的旋转来使手25移动，无法将第1、第2载置部15a、15b上的基板16a、16b同时准确地放置在第1、第2处理位置8a、8b上。 

关于输送机器人，例如记载于下述文献中。 

专利文献1：日本特开平10-275848号公报 

发明内容

本发明的课题在于将配置在上述手上的多张基板准确地配置在处理位置上。 

为了解决上述课题，本发明为一种基板输送方法，在输送机器人的手处设置第1、第2载置部，并将基板分别配置在上述第1、第2载置部上，使上述手移动至处理室内，并将上述基板配置于被设定在上述处理室内的第1、第2处理位置，其中，在使上述第1载置部位于上述第1处理位置上，并通过第1抬起机构将被配置于上述第1载置部的上述基板抬起的状态下，使上述手移动，使上述第2载置部位于上述第2处理位置上。 

本发明为一种基板输送方法，其中，在通过第2抬起机构将配置在位于上述第2处理位置上的上述第2载置部处的上述基板从上述第2载置部上抬起后，使上述第1、第2载置部从上述第1、第2处理位置上退开，接下来，使上述第1、第2处理位置上的上述基板下降而配置在上述第1、第2处理位置上。 

一种基板输送方法，其中，上述手采用如下两种方式的任一或二者来移动，即，以铅直的一旋转轴线作为中心的旋转移动、和沿着与上述旋转轴线垂直交叉的在放射方向延伸的直线的直线移动。 

本发明为一种基板输送方法，其中，上述第1、第2载置部被形成为2股的叉形状，被配置在上述第1载置部的上述基板承载在从下方插入到上述叉形状的切入部分的第1支承部件上，并在上述第1支承部件被插入到上述切入部分的状态下使上述手移动。 

能够将手上的多张基板准确地配置在处理位置处。 

附图说明

图1是用于说明能够应用本发明的真空处理装置的例子的概略俯视图。 

图2是臂部收缩状态的输送机器人的俯视图。 

图3是臂部伸长状态的输送机器人的俯视图。 

图4(a)～(f)是用于说明将基板从手上移载到处理室内的顺序的图。 

图5是用于说明基板输送方法的图。