[发明专利]基板输送方法

权利要求书

1.一种基板输送方法，在输送机器人的手处设置第1、第2载置部，并将基板分别配置在上述第1、第2载置部上，使上述手移动至处理室内，并将上述基板配置于被设定在上述处理室内的第1、第2处理位置，其特征在于，

在利用上述手的移动使上述第1载置部位于上述第1处理位置上，并通过第1抬起机构将被配置于上述第1载置部的上述基板抬起的状态下，使上述手移动既定距离，使上述第2载置部位于上述第2处理位置上。

2.根据权利要求1所述的基板输送方法，其特征在于，在通过第2抬起机构将配置在位于上述第2处理位置上的上述第2载置部处的上述基板从上述第2载置部上抬起后，使上述第1、第2载置部从上述第1、第2处理位置上退开，接下来，使上述第1、第2处理位置上的上述基板下降而配置在上述第1、第2处理位置上。

3.根据权利要求1所述的基板输送方法，其特征在于，上述手采用如下两种方式的任一或二者来移动，即，以铅直的一旋转轴线作为中心的旋转移动、和沿着与上述旋转轴线垂直交叉的在放射方向延伸的直线的直线移动。

4.根据权利要求1所述的基板输送方法，其特征在于，上述第1、第2载置部形成为2股的叉形状，被配置在上述第1载置部的上述基板承载在从下方插入到上述叉形状的切入部分的第1支承部件上，

在上述第1支承部件被插入到上述切入部分的状态下使上述手移动。