[实用新型]一种电泳脉冲金属蒸气激光装置

权利要求书

1.一种电泳脉冲金属蒸气激光装置，其特征在于包括激光放电管、脉冲放电电路、温控仪和气体流量控制系统，其中：

1)激光放电管：包括两个窗口(1)，两个真空连接管(2)，两个冷凝泡(3)，绕电热丝的储料侧管(5)，刚玉内管(7)，石英基管(8)和两个放电电极(17)；两个窗口(1)与激光管两端分别用真空连接管(2)连接，两个放电电极(17)分别烧结在两端口径较大的石英基管(8)上，绕有电热丝的储料侧管(5)烧结在靠近阳极端的石英基管(8)上，刚玉内管(7)套在石英基管(8)内，扩散冷凝管(9)位于阴极一端的口径较大的石英基管(8)上；

2)脉冲放电电路：包括直流高压源(24)，充电电感(23)，高频高压硅堆(22)，闸流管(21)，两个储能电容(19、20)及旁路电感(18)；直流高压源(24)的一端分别与激光放电管一端的放电电极(17)和闸流管(21)与第一储能电容(20)的接地端相连，第二储能电容(19)与激光放电管另一端的放电电极(17)相连，直流高压源(24)的另一端经充电电感(23)、高频高压硅堆(22)与第一储能电容(20)、第二储能电容(19)串接点连接，高频高压硅堆(22)的负极接闸流管(21)阳极，旁路电感(18)并接在两放电电极(17)之间；

3)温控装置：包括保温铝套(4)、绕有电热丝的储料侧管(5)和带热电偶的温控仪(6)；保温铝套(4)与石英基管(8)同轴放置，两端留有填充保温陶瓷纤维2～3厘米的间隙，热电偶放在储料侧管(5)下端；

4)气体流量控制系统：包括高纯钢瓶缓冲气体(15)，减压阀(14)，进气针形阀(13)，真空表(16)，过滤器(10)、抽气针形阀(11)和真空泵(12)；高纯钢瓶缓冲气体(15)经减压阀(14)，进气针形阀(13)接激光放电管的一侧，进气针形阀(13)上装有真空表(16)；真空泵(12)经抽气针形阀(11)，过滤器(10)接激光放电管的另一侧。