[实用新型]具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉内的设备，特别是一种具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构。

背景技术

多晶硅在生长的过程中，由于热场的不稳定，会在晶体内部产生微晶，在DSS450多晶铸造炉热场没改变的情况下，每个生产出来的晶锭里的微晶含量达到49.9％，这样最终产品的良品率就会大大降低。晶体的生长方向是由下向上的，保温条的作用是使晶块四周的温度不会冷却的太快，使晶体垂直生长，防止晶体没有长完就结晶，从而产生微晶。原有DSS450多晶硅铸造炉的保温条是三根，这样晶体在生长到一半的时候就结晶，结晶的固液界面呈水平状，而这种方式是最不理想的。

实用新型内容

为了克服现有的多晶硅铸锭炉生产出来的晶锭的微晶比例过高，影响产品质量的不足，本实用新型提供一种结晶质量优异的具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构。

本实用新型所采用的技术方案是：一种具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构，包括保温隔热笼体、保温隔热笼体内安装在侧面和顶面的加热器、放置坩埚的石墨冷却块以及设置在保温隔热笼体内腔四周的依次层叠的保温带，保温带的高h为73-83mm，宽b为77-87mm，由一层保温条组成。

原有的保温隔热笼体内有三层上下层叠的保温条，现在减掉两层。减掉两层保温层后，它的晶体的成长的固液界面呈现为凹型，使得生产出来的晶锭中的微晶量下降。

本实用新型的有益效果是：通过试验，和原来保温隔热笼体内设置上下层叠的三层保温条相比，它的晶体的成长的固液界面呈现为凹型，周围的晶体的成长速度快于中间的结晶，在有效区域中的微晶含量降低，使得生产出来的晶锭中的微晶量下降。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1.保温隔热笼体，2.加热器，3.石墨冷却块，4.保温条。

具体实施方式

如图1所示的一种具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构，包括保温隔热笼体1、保温隔热笼体1内安装在侧面和顶面的加热器2、放置坩埚的石墨冷却块3，在保温隔热笼体1的内腔四周设置一层保温条4，这层保温条4组成高h为73-83mm，宽b为77-87mm的保温带。

在DSS450多晶硅铸锭炉中，保温隔热笼体1内的保温条4原来有三层，现在减掉上面的两层。将硅原料加入到坩埚中，坩埚搁放在石墨冷却块3上，坩埚底部和四周衬有护板，顶部具有盖板，在溶化硅材料时，保温隔热笼体1和石墨冷却块3合拢形成加热坩埚中硅原料的热场腔室。溶化后的硅液冷却结晶时，保温隔热笼体1内的保温条4使得硅液四周的晶体生长慢于中间的结晶，晶体呈凹形生长，在有效区域中微晶的含量降低，使得出来的晶锭中的微晶的含量为从现在的49.9％下降到6.2％。