[发明专利]组合物、干膜、固化物和印刷线路板

说明书

技术领域

本发明涉及适于抗蚀剂的组合物及适用该组合物的干膜、 固化物以及印刷线路板，其中，该抗蚀剂用于通过激光振荡波 长为400～410nm的激光振荡光源进行直接图案描绘、通过稀碱 性水溶液显影、将所形成的图案光固化和热固化的工序。

背景技术

近年来，作为省资源或省能量这样的考虑环境的照相平版 印刷法，将激光作为光源的直接描绘方式(激光直接成像)被 实用化。该方法的特长为不必需掩模图案，可缩短制造工序和 大幅降低成本，适于多品种小批量、短交付期。

直接描绘装置由于无法将现有的掩模图案曝光这样的曝光 部整面同时曝光，因而为了得到与现有的掩模图案曝光同等的 曝光时间而有必要选择高感光度的抗蚀剂和高功率的光源。进 而，现有的掩模图案曝光所使用的光源为金属卤化物灯等波长 宽至300～500nm的光源，相对于此，直接描绘装置的光源和波 长大多使用气体激光、激光二极管、固体激光等，波长为355nm、 405nm、488nm。

其中，最近，使用激光二极管的405nm的直接描绘装置受 到瞩目，作为该振荡波长的激光振荡光源，众所周知蓝紫激光 二极管。但是，蓝紫激光二极管单独作为用于直接图案描绘的 露光光源则没有充分的功率。为此，实际的激光直描装置将数 十个至百数个激光二极管捆绑来制成光源。各激光二极管振荡 单一波长的光线，但该波长从400nm至410nm，各有不同。因此， 从使用蓝紫激光二极管的直接描绘装置发出的激光在400nm～ 410nm的范围具有分布。

因此，例如，即便调节抗蚀剂组合物的吸光度以使其适合 于中心波长、即405nm，也无法兼顾期望的表面固化性和固化 深度，为了兼顾而必须较多的曝光量。这即便按照适合于 400nm、410nm的方式来调整也同样。

另一方面，作为对应于400nm～410nm的激光直描装置的抗 蚀剂，有专利文献1：日本特开2007-78893号公报。该公报中记 载的技术方案为提出了一种感光性组合物，其特征在于，为了 在400～410nm的范围中使各波长的感光度差比较小以形成稳 定的皮膜，含有2种以上极大吸收波长为340～500nm的敏化剂。 该发明中表明：在380～420nm的波长区域具有分光感光度的极 大值，且400～410nm的区域中的可形成图案的最小曝光量S为 210mJ/cm²以下，且该区域中的最小曝光量的最大值Smax与最 小曝光量的最小值Smin满足下式：Smax/Smin≤1.2，通过该方 法可使感光度相适应。

但是，抗蚀剂的分辨率(抗蚀剂的图案形状)、特别是如同 阻焊剂这样的膜厚比较厚的着色系抗蚀剂的情形中，由于还存 在着色剂的吸收区域，因而不同光源不见得因为感光度相同而 各波长的线的形状是一定的，分辨率的问题上不能说得到解决。

此外，专利文献2：日本特开2007-102184号公报公开了一 种感光性树脂组合物，其特征在于，对365nm和405nm的光的吸 光度分别为0.1以上0.9以下的范围内。该公报中记载的技术方 案中，使用365nm和405nm的光源时分别得到了分辨率良好的图 像，本发明成为课题的光源从400nm至410nm具有分布的情形 中，如果不施加多的曝光量则得不到整洁的形状。进而在如同 阻焊剂这样膜厚比较厚的着色系抗蚀剂的情形中，还必须考虑 为了着色而使用的耐热性的着色剂的吸收量。即，着色剂具有 本发明的范围、即400-410nm中必然不能忽视的吸收光谱，其 表现于吸光度。此时，即便吸光度在规定的范围也几乎都被着 色剂的吸收，此时得不到感光度、分辨率也变差。

于是，本发明人等发现，根据激光的400nm～410nm的范围 的分布，通过调整组合物的吸光度，可兼顾所期望的表面固化 性和固化深度而无需较多的曝光量，并完成了本发明。

专利文献1：日本特开2007-78893号公报(权利要求书等)

专利文献2：日本特开2007-102184号公报(权利要求书等)

发明内容

发明要解决的问题

本发明提供一种组合物，特别是抗蚀剂组合物，其中，该 组合物对具有400nm～410nm的分布的激光、在短波长侧较高地 设计吸光度、在长波长侧较低地设计吸光度，从而可兼顾表面 固化性和固化深度。