[发明专利]化学放大型抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：

(A)树脂，所述树脂包含(a)具有酸-不稳定基团的结构单元、(b)具有至少一个羟基的结构单元、(c)具有至少一个内酯结构的结构单元以及(d)由式(Ia)或(Ib)表示的结构单元：

其中，R¹表示氢原子或甲基，R³表示甲基，n表示0至14的整数，并且Z表示单键或-[CH₂]_k-COO-，以及

(B)至少一种酸生成剂。

2.根据权利要求1的化学放大型抗蚀剂组合物，其中(a)所述具有酸-不稳定基团的结构单元是由式(IIa)或(IIb)表示的结构单元；

其中，R²表示氢原子或甲基，Z¹表示单键或-(CH₂)_r-COO-，r表示1至4的整数，R⁴表示C1-C8直链或支链烷基或C3-C10环烷基，R⁵表示甲基，m表示0至14的整数，R⁶表示C1-C8直链或支链烷基或C3-C10环烷基，R⁷和R⁸各自独立地表示氢原子或可以具有至少一个杂原子的C1-C8一价烃基，或者R⁷和R⁸可以结合形成可以具有至少一个杂原子的C1-C8二价烃基，所述C1-C8二价烃基与R⁷和R⁸键合的相邻碳原子一起形成环，或者R⁷和R⁸可以在R⁷键合的碳原子和R⁸键合的碳原子之间结合形成碳-碳双键，1表示1至3的整数。

3.根据权利要求1的化学放大型抗蚀剂组合物，其中(b)所述具有至少一个羟基的结构单元是由式(III)表示的结构单元：

其中，R⁹表示氢原子或甲基，R¹⁰和R¹¹各自独立地表示氢原子、甲基或羟基，R¹²表示甲基，p表示0至12的整数，Z²表示单键或-(CH₂)_s-COO-，并且s表示1至4的整数。

4.根据权利要求1的化学放大型抗蚀剂组合物，其中(c)所述具有至少一个内酯结构的结构单元是由式(IVa)、(IVb)或(IVc)表示的结构单元：

其中，R¹³表示氢原子或甲基，R¹⁴表示甲基，x表示0至5的整数，R¹⁵表示C1-C4烃基、羧基或氰基，y表示0至3的整数，R¹⁶表示C1-C4烃基、羧基或氰基，z表示0至3的整数，并且当y为2或3时，R¹⁵可以彼此相同或不同，而当z为2或3时，R¹⁶可以彼此相同或不同。

5.根据权利要求1的化学放大型抗蚀剂组合物，其中所述酸生成剂为鎓盐化合物、有机-卤素化合物、砜化合物或磺酸盐化合物。

6.根据权利要求1的化学放大型抗蚀剂组合物，其中所述酸生成剂为鎓盐化合物。

7.根据权利要求1的化学放大型抗蚀剂组合物，其中所述酸生成剂是选自由式(V)表示的盐中的盐：

其中，Y¹和Y²各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R²¹表示C1-C6直链或支链烃基或C3-C30单环或多环烃基，所述C3-C30单环或多环烃基可以被选自C1-C6烷基、C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、羟基和氰基中的至少一个取代，并且在所述C3-C30单环或多环烃基中的至少一个-CH₂-可以被-CO-、-O-或-CH(OH)-取代，并且A⁺表示有机抗衡离子。