[发明专利]一种有机薄膜晶体管及其制备方法无效
申请号: | 200810046025.X | 申请日: | 2008-09-11 |
公开(公告)号: | CN101359719A | 公开(公告)日: | 2009-02-04 |
发明(设计)人: | 于军胜;李璐;蒋亚东;张磊 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40 |
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地址: | 610054四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有机 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
1.一种有机薄膜晶体管,包括基板、栅电极、有机栅绝缘层、有机半导体层、漏电极和源电极,其特征在于,所述有机栅绝缘层材料为紫外固化胶,包括自由基型紫外光固化胶粘剂,阳离子型紫外光固化胶粘剂以及两者的混合体系;所述自由基型紫外光固化胶粘剂包括基础树脂、单体、光引发剂和光敏剂以及助剂;所述有机半导体层的材料为以下材料中的一种或者多种:富勒烯C60及其衍生物,苝Perylene及其衍生物。
2.根据权利要求1所述的有机薄膜晶体管,其特征在于,所述有机栅绝缘层厚度为1nm~500nm。
3.根据权利要求1所述的有机薄膜晶体管,其特征在于,基础树脂包括不饱和聚酯树脂、丙烯酸系树脂和多硫醇-多烯体系;单体包括苯乙烯及其衍生物、单官能团和多官能团丙烯酸酯;光引发剂包括安息香及其衍生物安息香甲醚、安息香乙醚、安息香异丙醚和乙酰苯衍生物;光敏剂包括二苯甲酮、硫杂蒽醌和米蚩酮;助剂包括增塑剂、触变剂、填充剂、防静电剂、阻燃剂和偶联剂。
4.根据权利要求1所述的有机薄膜晶体管,其特征在于,所述源电极、漏电极和栅电极为导电薄膜。
5.根据权利要求1所述的有机薄膜晶体管,其特征在于,所述源电极、漏电极和栅电极为金属。
6.根据权利要求1~4任一所述的机薄膜晶体管,其特征在于,晶体管结构为顶部接触式、底部接触式和顶部栅极式中的一种,其中顶部接触式结构构成是部件从底端到顶端依次为基板、栅电极、有机栅绝缘层、有机半导体层以及在同一层面的源电极和漏电极,底部接触式结构构成是部件从底端到顶端依次为基板、栅电极、有机栅绝缘层、在同一层面的源电极和漏电极、有机半导体层,顶部栅极式结构构成是部件从底端到顶端依次为基板、在同一层面的源电极和漏电极、有机半导体层、有机栅绝缘层、栅电极。
7.一种有机薄膜晶体管的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
①先对基板进行彻底的清洗,清洗后干燥;
②在基板的表面制备栅电极;
③形成栅电极的图形;
④在镀有栅电极的基板的上制备有机栅绝缘层,所述有机栅绝缘层材料为紫外固化胶,包括自由基型紫外光固化胶粘剂,阳离子型紫外光固化胶粘剂以及两者的混合体系;
⑤对形成的有机栅绝缘层进行处理;
⑥在已形成栅电极,以及已覆盖有机栅绝缘层的基板制备有机半导体层,所述有机半导体层的材料为以下材料中的一种或者多种:富勒烯C60及其衍生物,苝Perylene及其衍生物;
⑦然后制备源电极和漏电极;
⑧形成源电极,漏电极图案。
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