[发明专利]大面阵红外探测器在冷平台上的组装结构及其组装方法有效
申请号: | 200810033431.2 | 申请日: | 2008-02-01 |
公开(公告)号: | CN101226926A | 公开(公告)日: | 2008-07-23 |
发明(设计)人: | 王小坤;朱三根;张亚妮;曾智江;郝振贻;吴家荣;洪斯敏;俞君;龚海梅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | H01L25/00 | 分类号: | H01L25/00;H01L23/488;H01L23/49 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 20008*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大面 红外探测器 平台 组装 结构 及其 方法 | ||
1.一种大面阵红外焦平面探测器在冷平台上的组装结构,包括大面阵红外探测器芯片(1)、基板衬底(2)、微型杜瓦的冷平台(3)、引线电路(4)、滤光片支架(5)、滤光片(6)、冷屏(7)和硅铝丝(8),其特征在于:
A.大面阵红外探测器芯片(1)通过低温胶与基板衬底(2)胶合在一起,基板衬底(2)通过低温胶与微型杜瓦的冷平台(3)胶合在一起;
B.滤光片支架(5)与基板衬底(2)之间通过滤光片支架安装槽(201)与安装插脚卡口(502)进行联结固定;
C.冷屏(7)与基板衬底(2)之间通过冷屏安装槽(202)与共用乙种圆筒的插脚卡(704)进行联结固定;
D.引线电路(4)制作在基板衬底(2)上,设置有与读出电路模块(102)引出端(103)对应的焊盘,大面阵红外探测器芯片(1)的读出电路模块(102)的电路引出端(103)通过硅铝丝(8)与这些焊盘相连。
2.根据权利要求1所述的一种大面阵红外焦平面探测器在冷平台上的组装结构,其特征在于:所说的基板衬底(2)的材料是蓝宝石或高抛光氮化铝,其上的滤光片支架安装槽(201)和冷屏安装槽(202)由激光加工而成,槽的宽度分别比滤光片支架(5)对应尺寸和冷屏(7)对应尺寸大0.02mm-0.05mm,槽的长度分别比滤光片支架(5)对应尺寸和冷屏(7)对应尺寸为大0.1mm-0.3mm。
3.根据权利要求1所述的一种大面阵红外焦平面探测器在冷平台上的组装结构,其特征在于:所说的滤光片支架(5)采用厚度为0.2mm-0.5mm柯伐材质的板片,安装插脚卡口(502)尺寸具体尺寸如下:δ1和δ2为0.1mm-0.3mm,D选用比基板衬底(2)厚度大0.02mm-0.05mm,L为1.5mm-2mm。
4.根据权利要求1所述的一种大面阵红外焦平面探测器在冷平台上的组装结构,其特征在于:所说的滤光片(6)用低温胶胶接在滤光片支架(5)上的通光口(501)位置上。
5.根据权利要求1所述的一种大面阵红外焦平面探测器在冷平台上的组装结构,其特征在于:所说的冷屏(7)由多个共用甲种圆筒(701)和一个共用乙种圆筒(702)按一定次序组成,共用乙种圆筒(702)放置在冷屏的下部分,在共用乙种圆筒(702)之上根据需要放置不同数量的共用甲种圆筒(701);共用甲种圆筒(701)和共用乙种圆筒(702)均是柯伐材质的薄壁件,上面都预留满足光学要求的通光孔(703),壁厚为0.15mm-0.3mm,所有的共用甲种圆筒(701)和共用乙种圆筒(702)的内表面处理成黑色,外表面镜面抛光处理;共用甲种圆筒(701)和共用乙种圆筒(702)之间通过激光焊接连接在一起;共用乙种圆筒(702)上加工有安装插脚卡口(704),具体尺寸为:δ1和δ2为0.1mm-0.3mm,D选用比基板衬底(2)厚度大0.02mm-0.05mm,L弧长为1.5mm-2mm。
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