[发明专利]具有加热改良构造的长晶炉

说明书

技术领域

本发明是关于一种多晶硅长晶炉，尤其是指一种适用于具有加热改良 构造的长晶炉。

背景技术

请参阅图1，其显示为公知的长晶炉的示意图，如图所示一加热室90 设置于长晶炉9内，于加热室90内容设有桌板91、与坩埚92，坩埚92中装 盛有熔融的硅浆。以支撑柱93固设于长晶炉9的炉底盖94，并支撑于桌板 91、及坩埚92的下方。

如1图所示，电热器95设置于坩埚92四周，以幅射热对硅浆进行加热， 对坩埚92上部、及下部则无法直接且均匀地加热。又为了要提供坩埚92稳 固的支撑，桌板91制作的非常厚重，而导致桌板91的热容量大。

加热时，桌板91需吸收大量的潜热后才能逐渐达到设定温度；在冷却 时，桌板91散热不易，使得长晶炉9浪费许多不必要的能源。

再者，由于桌板91散热不易，使坩埚92内的硅浆上、下冷却不均匀， 造成凝固后的晶碇内部存有应力，最终产出的硅碇质量不佳。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有加热改良构造的长晶炉，以期克服公 知技术中存在的浪费能源及产品质量不佳的问题。

为实现上述目的，本发明提供的具有加热改良构造的长晶炉，包括：

一炉体，包括有一炉上腔、及一炉底盖，该炉底盖是盖合于该炉上腔 下方、并共同围绕形成一炉内空间；

一支撑桌体，容设于该炉体的该炉内空间内，该支撑桌体包括有一桌 板、及复数根支撑柱，该桌板通过该复数根支撑柱以固设于该炉底盖内；

其中：

一顶加热器，容设于该炉体的该炉内空间内、并对应位于该桌板上方， 该顶加热器包括有一第一层加热器、及至少一第二层加热器分别悬吊固设 于该炉上腔内，该第一层加热器是高于该至少一第二层加热器，该至少一 第二层加热器其外周并大于该第一层加热器；以及

一底加热器，与该支撑桌体的该桌板组设一起。

所述的长晶炉，其中，还包括有一加热室容设于该炉体的该炉内空间 内，该加热室内部形成有一室内空间其内至少容纳有该支撑桌体的该桌 板、该顶加热器、与该底加热器。

所述的长晶炉，其中，该加热室是双层结构，包括有一内层隔热材及 一外层保温材。

所述的长晶炉，其中，该加热室包括有一上罩、及一下隔板，通过该 上罩盖合于该下隔板上以共同围绕形成该室内空间。

所述的长晶炉，其中，还包括有复数个穿孔、及复数个高领套筒，该 加热室的该下隔板贯设有该复数个穿孔，该复数个高领套筒穿设于该复数 个穿孔内，该复数根支撑柱分别穿过该复数个高领套筒，并固设于炉底盖 内。

所述的长晶炉，其中，该加热室的该上罩包括有一上隔板、及复数个 侧隔板，该复数个侧隔板彼此并排围绕固设于该上隔板下方。

所述的长晶炉，其中，该顶加热器的该第一层加热器包括有一环状电 阻、及二石墨电极，该二石墨电极分别电连接至该环状电阻。

所述的长晶炉，其中，该顶加热器的该至少一第二层加热器包括有一 环状电阻、及二石墨电极，该二石墨电极分别电连接至该环状电阻。

所述的长晶炉，其中，该底加热器包括有复数个弯曲电阻条，分别设 置于该支撑桌体的该桌板下方；每一支撑柱包括有一石墨电极支柱，支撑 顶抵于该复数个弯曲电阻条其中的一下方并彼此形成电性连接。

所述的长晶炉，其中，还包括复数个绝缘压片，该复数个绝缘压片设 置于该支撑桌体的该桌板与该复数个弯曲电阻条之间。

所述的长晶炉，其中，每一支撑柱还包括有一调整螺帽，该石墨电极 支柱顶端还设有一外螺牙，通过该调整螺帽螺合于该外螺牙上以支撑顶抵 着该弯曲电阻条。

所述的长晶炉，其中，该调整螺帽包括有一石墨调整螺帽。

本发明的效果是：可加速内部硅原料吸收热能，产生良性循环以快速 熔融加热整锅坩埚内的硅原料，故可节省能源与时间。再者，由于顶、底 加热器几何线条简单，且各别加热器其型状对称，除能对坩埚均匀加热， 除省能又方便加热器加工，可节省加热器制造成本。此外，长晶炉的内层 隔热材可隔绝加热室能量外泄、外层保温材更可加强保温效果，如此可达 节能的好处。

附图说明

图1为公知长晶炉的示意图。

图2为本发明长晶炉其一较佳实施例的剖视图。

图3为本发明顶加热器其一较佳实施例的示意图。