[发明专利]双臂型机器人

说明书

技术领域

本发明涉及一种具备在储料器之间存取玻璃基板或半导体晶片等薄板状工件的臂的机器人，尤其涉及具备2个臂的双臂型机器人。

背景技术

以往在玻璃基板或半导体晶片等薄板状工件的搬运中经常利用机器人。特别是近年来伴随液晶面板或PDP(等离子体显示屏)用玻璃的大型化，很明显搬运这些的机器人也有大型化的倾向。

在这种情况下，为了使机器人在节省空间的同时提高搬运效率而提高生产能力，采用具备2个用于放置并搬运工件的臂的双臂型机器人。

特别是通过采用在上下方向的不同高度设置2个臂的双臂型机器人，用一个臂把工件搬入储料器中的同时，用另外一个臂从储料器的其它的货架上搬出工件，可以提高搬运效率，而且通过把2个臂配置成在上下方向上重叠，抑制设置机器人所需要的面积，可以实现节省空间(例如，专利文献1)。

图7是表示专利文献1的双臂型机器人。因为在专利文献1的双臂型机器人中，形成2个臂连接在1个支撑构件上而上上下移动的机构，因此2个臂在上下方向上的间隔保持一定并且同时进行2个臂的上下移动。所以存在不能改变2个臂在上下方向上的间隔或者不能相互独立地进行上下移动的问题。

即，在储料器等的货架的间距(上下间隔)与2个臂在上下方向上的间隔不一致的情况下，首先用一个臂搬出收容于储料器的某个货架上的工件后，在上下方向上移动2个臂，用另外一个臂进行从其它的货架上搬出工件的动作，即使具备2个臂，搬运周期也变长。

为了解决这样的问题，公开有使2个臂可以单独在上下方向上移动的技术(例如专利文献2)。

图8是表示专利文献2所记载的双臂型机器人。因为可以自如地变换2个水平多关节臂45A、45B在上下方向上的间隔，因此可以使臂在上下方向上的间隔配合储料器等的货架的间距，使2个臂并行地同时进行工件的搬入、搬出。其结果，可以发挥双臂的优点而提高搬运效率。

另外，专利文献2所记载的双臂型机器人臂如图9所示，通过使支撑各自的臂的2个支撑构件44A、44B的侧部形成相互不同地突出的形状，构成使2个臂的上下间隔不会为规定的最小距离以下。

专利文献1：日本国特开2001-274218号公报

专利文献2：日本国特开2005-150575号公报

发明内容

但是，在专利文献2的双臂型机器人中存在如下问题。

因为上下2个支撑构件44A、44B侧部的接触面露出于外部，因此在接触时发生微粒而可能对要求高清洁度的工件产生不良影响。而且因为质量大的支撑构件彼此接触，因此由于此时的碰撞，在手(48A、48B)上的工件产生位置偏离，在最坏的情况下有可能从手上落下。

而且由于支撑构件44A、44B的侧部很大地突出，因此质量增加，伴随这些，用于上下移动臂45A、45B以及支撑构件44A、44B的马达或动力传递机构等驱动机构也存在大型化的问题。

另外，虽然在专利文献2中未详细提及，但是在臂、支撑构件、立柱(41A、41B)的各自的内部，内置有用于驱动各个臂或支撑构件的驱动源或者用于取得这些的位置的电缆类或为了检测放置在手上的工件的目的而设置的传感器用电缆。

在2个臂单独上下动作的结构的情况下，因为这些电缆也伴随臂的上下运动而在立柱内上下移动，因此立柱内部需要充分的空间。其结果伴随臂的上下移动的行程变大立柱成为大型化，并牵涉到设置面积或旋转半径的扩大。例如在专利文献2的双臂型机器人中，保持支撑构件的立柱为2个(41A、41B)，其结果，存在需要大的设置面积或者由于台座50的旋转机构而造成旋转半径变大的问题。

本发明是基于上述问题而进行的，其目的在于提供具备可以各自独立地上下移动的双臂，通过把上下的支撑构件的间隔控制在适当的范围内，提高搬运效率的同时，使立柱紧凑，将设置面积或旋转半径控制小，可以抑制伴随上下支撑构件的动作而对工件的不良影响的双臂型机器人。

为了解决上述问题，本发明如以下构成。

技术方案1所述的发明为，一种双臂型机器人，上下配置共2个放置搬运物的手部及共2个多关节臂，每个多关节臂与相应的手部连接，每个多关节臂至少具有2个旋转关节，做伸缩动作使相应的手部在1个方向上移动，其具备：分别支撑所述2个多关节臂的2个支撑构件；安装所述2个支撑构件的立柱；及使所述2个支撑构件可以沿着所述立柱分别在上下方向上移动地连接在所述立柱上的移动机构，其特征为，通过所述2个支撑构件的一方或双方的上下移动，所述2个支撑构件的上下方向的间隔变宽，当其间隔达到第1规定值时，则把所述支撑构件的间隔限制在一定范围内的机构使所述支撑构件的上下动作停止。