[发明专利]多关节机器人及配线方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。

背景技术

作为现有的多关节机器人，提出了通过偏置肩关节部的旋转中心和台座的旋转中心，在使台座转动时减小多关节机器人的旋转半径的多关节机器人(例如，参照专利文献1)。

现有的多关节机器人1构成为，如图5所示，具备两组通过关节部3、4、5可旋转地被连接并传递旋转驱动源所产生的旋转力，进行期望动作的臂2，使设置在两组臂2上的基端的关节部3的旋转中心轴上下(或轴向)配置。

多关节机器人1具备两组臂2，一组臂驱动型装置2为供给用，另一组为取出用，能够同时进行工件9的供给动作及其它工件9的取出动作。

而且，现有的多关节机器人1构成为，通过臂2保持工件9的手部8能够在由图中箭头X所示的工件9的取出·供给方向上直线移动。

而且，现有的多关节机器人1具备使设置有臂2的支撑构件10上下移动的移动构件11(以下，称为上下移动机构11)，能够调节臂2的上下位置。而且，上下移动机构11的台座13可转动地设置，能够使多关节机器人1旋转并改变方向。

另外，在本实施方式的多关节机器人1中，在图中箭头Y所示的方向，即与手部8的移动方向和支撑构件10的上下移动方向分别正交的方向上，相对于基台14可移动地设置台座13并能够调节上下移动机构11的位置。

而且，现有的多关节机器人1所具备的两组臂2例如具有多个关节部，即多关节机器人1构成为水平多关节型机器人。本实施方式中的臂2具备第一臂6(以下，称为上臂6)、与上臂6连接的第二臂7(以下，称为前臂7)及与前臂7连接并保持工件9的手部8。

上臂6的基端通过驱动轴连接于支撑构件10，构成可转动的关节部3(以下，称为肩关节部3)。该肩关节部3成为臂2的基端的关节部3。而且，上臂6的前端和前臂7的基端通过驱动轴连接，构成可转动的关节部4(以下，称为肘关节部4)。而且，前臂7的前端和手部8通过驱动轴连接，构成可转动的关节部5(以下，称为手关节部5)。为使肩关节部3的旋转中心轴处于同轴上，配置为在上下方向上相对。

臂2通过未图示的旋转驱动源使肩关节部3、肘关节部4及手关节部5转动，使手部8向工件取出·供给方向移动。此时，臂2按其结构进行伸缩动作，以使手部8朝向一个方向，在使上臂6和前臂7伸直的伸长位置以及使上臂6和前臂7处于折叠状态的缩短位置之间进行直线移动。

专利文献1：日本国特开2001-274218(第4页～5页，图1)

发明内容

将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人向大型化发展，要求在增加处理的基板张数的同时在短时间内进行处理。因此对于机器人，尽管设备自身大型化至配置基板的储料器几乎到达天花板的高度，但还是希望在储料器中配置更多的基板并进行处理。而且，液晶基板、半导体晶圆等的生产张数逐年递增，为了提高生产效率对于机器人要求搬运生产率。但是，由于机器人包括机械零件所以需要维护，维护时间也变为涉及生产率的重要因素，希望能够容易地进行维护。

但是，现有的多关节机器人在臂基端容纳马达、带轮等，将电缆朝向配置于手部的传感器进行配线。考虑到该电缆的弯曲半径，构成在上下方向上较厚的结构。因此，由于无法缩小臂间隔，所以产生了不得不较宽地设定储料器内配置液晶基板或半导体基板的间隔的问题。也就是说，由于可配置在储料器内的面板或基板的张数变少，所以产生了生产效率降低这样的问题。为了避免这样的问题，可以考虑通过上下移动机构在取出送入时改变臂的高度，但是此时，为了反复进行使臂上下移动的顺序动作需要花费时间，产生了作业时间变长等的问题。

本发明是基于上述问题而进行的，目的是提供一种提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。

为解决上述问题，本发明是如下构成的。

方案1所述的发明为一种多关节机器人，具备：载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上相对的多关节臂；对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件；及安装于所述移动机构具有旋转功能的台座，其为，在至少一个所述旋转关节的旋转中心具有中空连接孔，以去除了多芯电缆外皮的单芯电缆穿过至少一个所述旋转关节的形式进行配线，在从多芯电缆成为单芯电缆时，具有固定单芯电缆的捆束部件，所述捆束部件配备于中空连接孔的中空部。