[发明专利]固相片生长基体和固相片的制造方法无效
| 申请号： | 200780022035.3 | 申请日： | 2007-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN101466877A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 吉田浩司 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;H01L21/208;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 葛 青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 相片 生长 基体 制造 方法 | ||
1.一种固相片生长基体(100)，包括主面(1)和包围所述主面(1) 的侧面(2A，2B)，所述主面(1)被周缘槽(10A)划分为位于所述周缘槽 (10A)外侧的周边部(12)和位于所述周缘槽(10A)内侧的内侧部(11)， 并且与所述周缘槽(10A)分离的多个狭缝槽(20)形成于所述周边部(12)的所 述侧面(2A)上，其中所述狭缝槽(20)每个具有不小于1mm并且不大于 5mm的宽度和不小于1mm的深度，并且相邻的所述狭缝槽(20)之间的 间距不小于1mm。
2.根据权利要求1的固相片生长基体(100)，其中所述周缘槽(10A) 具有不小于1mm并且不大于5mm的宽度。
3.一种制造固相片(200)的方法，在熔液(506)中浸渍根据权利要 求1的所述固相片生长基体(100)，以便在所述固相片生长基体(100)的 所述主面(1)上使用所述熔液(506)作为材料而生长固相片(200)。
4.根据权利要求3的制造固相片(200)的方法，其中当所述固相片生 长基体(100)被浸渍在所述熔液(506)中时，每个所述狭缝槽(20)的一 部分被浸渍并且每个所述狭缝槽(20)的一部分未被浸渍。
5.根据权利要求3的制造固相片(200)的方法，其中所述固相片生长基 体(100)包括多个所述狭缝槽(20)，坩埚(501)包含所述熔液(506)， 并且所述固相片生长基体(100)被浸渍在距所述坩埚(501)的内壁比所述 狭缝槽(20)之间的间距长的距离。
6.根据权利要求3的制造固相片(200)的方法，其中所述固相片(200) 是半导体。
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