[发明专利]输送系统的输送位置对准方法

权利要求书

1.一种输送系统的输送位置对准方法，该输送系统具有对被输送物的位置偏移进行检测的位置对准机构和可搬入上述被输送物的组件，通过多个输送路径能将上述被输送物输送到上述位置对准机构和上述组件的规定输送位置上，其中以上述多个输送路径之一作为基准输送路径时，该输送位置对准方法用于使经由其他输送路径的输送位置与上述组件中的经由上述基准输送路径的输送位置对准，其特征在于，包括以下工序：

使从上述位置对准机构通过上述基准输送路径输送到上述组件的位置对准用被输送物通过上述其他输送路径从上述组件返回到上述位置对准机构，对输送前后的上述位置对准用被输送物的位置偏移进行检测的工序、

将从上述组件的输送位置沿可以进行位置偏移校正的方向错开规定错开量的位置对准用被输送物通过上述其他输送路径从上述组件输送到上述位置对准机构而对上述位置对准用被输送物的位置偏移进行检测，还改变上述错开量并重复多次上述位置偏移检测，基于由此得到的多个位置偏移的检测结果，求出与上述组件的输送位置的可进行位置偏移校正的方向相对应的上述位置对准机构的输送位置的位置偏移方向，从而算出上述位置偏移校正用座标系的工序、

以及基于上述位置偏移校正用座标系，对经由上述其他输送路径的上述组件的输送位置进行校正，以消除上述检测到的位置偏移的工序。

2.根据权利要求1所述的输送系统的输送位置对准方法，其特征在于，

上述输送系统具有输送机构，该输送机构具有保持上述被输送物的多个抓手，

上述多个输送路径分别是上述输送机构的以不同的抓手输送时的输送路径。

3.根据权利要求1所述输送系统的输送位置对准方法，其特征在于，

上述组件是下列组件中的任一个：对所搬入的上述被输送物实施规定处理的处理组件、在将上述被输送物向上述处理组件输送时用于中转该被输送物的中转组件、具有可进入上述处理室和上述中转组件的输送机构的输送组件，或收纳上述被输送物的收纳组件。

4.一种输送系统的输送位置对准方法，该输送系统具有对被输送物的位置偏移进行检测的位置对准机构和将上述被输送物输送到规定输送位置时用于中转该被输送物的多个中转组件，其中，该输送位置对准方法用于以上述多个中转组件的其中之一作为基准中转组件，使经由通过其他中转组件的输送路径的输送位置与经由通过上述基准中转组件的输送路径的输送位置对准，其特征在于，包括以下工序：

使从上述输送位置对准机构经由通过了上述基准中转组件的输送路径输送到上述规定输送位置的位置对准用被输送物从上述规定输送位置经由通过了上述其他中转组件的输送路径返回到上述输送位置对准机构，对输送前后的上述位置对准用被输送物的位置偏移进行检测的工序、

求出经由通过了上述其他中转组件的输送路径在上述位置对准机构位置和上述规定输送位置之间输送上述被输送物之际的、与上述其他中转组件的输送位置的可进行位置偏移校正的方向相对应的上述位置对准机构的输送位置的位置偏移方向，由此得到位置偏移校正用座标系的工序、

以及基于上述位置偏移校正用座标系，对上述其他中转组件的输送位置进行校正，以消除上述检测到的位置偏移的工序。