[发明专利]压力传感器装置、以及内置压力传感器的流体控制仪器

权利要求书

1.一种压力传感器装置，其特征在于，具有：

第1通路块，在该第1通路块上形成有规定的通路；

第2通路块，在该第2通路块上形成有规定的通路，且该第2 通路块与所述第1通路块隔开规定间隔地相对；

压力传感器，该压力传感器设在所述第1、第2通路块的任一 方的通路块的相对面上，检测该通路块的内部通路的流体压力。

2.如权利要求1所述的压力传感器装置，其特征在于，

所述第1、第2通路块经由对压力传感器进行保护的传感器罩 而结合。

3.如权利要求2所述的压力传感器装置，其特征在于，

在所述第1、第2通路块之间夹置有所述传感器罩，并且，以 横跨所述第1、第2通路块的方式配置有连结板，

传感器罩具有：底壁，该底壁抵接在设有压力传感器的通路块 的相对面上；一对侧壁，该一对侧壁夹在两通路块的相对面之间，

在所述底壁上设有压力传感器穿插用贯穿孔，在任一方的所述 侧壁上设有配线取出用贯穿孔，

所述连结板具有多个螺栓穿插孔，通过将穿插在这些螺栓穿插 孔中的螺栓与分别设在所述第1、第2通路块上的螺纹孔相螺合，由 此两通路块经由所述传感器罩而结合。

4.一种内置压力传感器的流体控制仪器，其特征在于，具有：

流体控制仪器，该流体控制仪器具有入口端和出口端；

第1通路块，在该第1通路块上形成有通向流体控制仪器的入 口端的通路；

第2通路块，在该第2通路块上形成有通向流体控制仪器的出 口端的通路，且该第2通路块与所述第1通路块隔开规定间隔地相 对；

压力传感器，该压力传感器设在所述第1、第2通路块的任一 方的通路块的相对面上，检测该通路块的内部通路的流体压力。

5.如权利要求4所述的内置压力传感器的流体控制仪器，其特 征在于，

所述第1、第2通路块经由对压力传感器进行保护的传感器罩 而结合。

6.如权利要求5所述的内置压力传感器的流体控制仪器，其特 征在于，

在所述第1、第2通路块之间夹置有所述传感器罩，并且，以 横跨所述第1、第2通路块的方式配置有连结板，

传感器罩具有：底壁，该底壁抵接在设有压力传感器的通路块 的相对面上；一对侧壁，该一对侧壁夹在两通路块的相对面之间，

在所述底壁上设有压力传感器穿插用贯穿孔，在任一方的所述 侧壁上设有配线取出用贯穿孔，

所述连结板具有多个螺栓穿插孔，通过将穿插在这些螺栓穿插 孔中的螺栓与分别设在所述第1、第2通路块上的螺纹孔相螺合，由 此两通路块经由所述传感器罩而结合。

7.如权利要求4至6的任一项所述的内置压力传感器的流体控 制仪器，其特征在于，

所述流体控制仪器是压力调整器，所述压力传感器设在形成有 通向所述压力调整器的出口端的通路的通路块上。

8.一种流体控制装置，其特征在于，

具有多个流体控制仪器和多个块状接头部件，在所述块状接头 部件上形成有将相邻流体控制仪器的下端开口彼此连接的通路，所 述多个流体控制仪器中的至少1个是权利要求4至7的任一项所述 的内置压力传感器的流体控制仪器。