[实用新型]晶粒挑捡装置无效

专利信息
申请号: 200720143916.8 申请日: 2007-04-13
公开(公告)号: CN201107806Y 公开(公告)日: 2008-08-27
发明(设计)人: 卢彦豪 申请(专利权)人: 威控自动化机械股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 北京兰台恒信知识产权代理有限公司 代理人: 李连生
地址: 中国台湾新*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 晶粒 装置
【权利要求书】:

1. 一种晶粒挑捡装置,其特征在于,至少包含:

一置放机台,具有一晶圆置放架及一第一线性方向的一第一滑轨,该晶圆置放架用以置放一晶圆,且该置放机台是于该第一滑轨上进行位移;

一顶出装置,设置于该置放机台的底部,并具有一顶针机构及一第二线性方向的一第二滑轨,该顶出装置是于该第二滑轨上进行位移;以及

一顶部装置,设置于该置放机台的上方,并具有一取放头、一辨识系统及一移动轴,该移动轴是平行该第二线性方向以该第一线性方向进行位移,该取放头是设于该移动轴上以该第二线性方向进行位移,由该辨识系统辨识该顶针机构的作动,使该取放头位移至对应该顶针机构的位置;

其中,该第一线性方向与该第二线性方向呈正交。

2. 如权利要求1所述的晶粒挑捡装置,其特征在于,该晶粒挑捡装置更具有一托盘,且该托盘设置于该置放机台的一侧,并与该置放机台设置于同一水平面。

3. 如权利要求1所述的晶粒挑捡装置,其特征在于,该晶圆为一切割后晶圆,并具有至少一晶粒。

4. 如权利要求1所述的晶粒挑捡装置,其特征在于,该顶针机构更具有一顶针头,且该顶针头是小于该晶粒。

5. 如权利要求1所述的晶粒挑捡装置,其特征在于,该顶针机构是做一上下的往复运动,使该顶针头可将该些晶粒中的一晶粒顶出。

6. 如权利要求1所述的晶粒挑捡装置,其特征在于,该辨识机构是可判断该顶针头所顶出的晶粒,并使该吸取机构移动至该顶出的晶粒上方,以将该顶出的晶粒吸取起来。

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