[发明专利]半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置无效
申请号: | 200710055785.2 | 申请日: | 2007-06-20 |
公开(公告)号: | CN101079534A | 公开(公告)日: | 2007-11-28 |
发明(设计)人: | 刘云;王立军;李再金;姚迪 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H01S5/024 | 分类号: | H01S5/024;H01L21/00;B08B3/04;B08B3/08 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 | 代理人: | 赵炳仁 |
地址: | 130031吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 激光 通道 化学 清洗 装置 | ||
1、一种半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置,其特征在于包括底座(1),支架(2),滑块(11),升降调节杆(3),微调旋钮(10),第一橡胶板(4),第二橡胶板(5),第三橡胶板(6),鱼夹(7);支架(2)固定在底座(1)的边缘,升降调节杆(3)垂直安装在支架(2)的上端;滑块(11)与升降调节杆(3)活动连接,微调旋钮(10)固定安装在滑块(11)上并与升降调节杆(3)活动连接,调节微调旋钮(10)可以使滑块(11)相对于升降调节杆(3)上下滑动;第一橡胶板(4)的一端固定在滑块(11)上,第二橡胶板(5)与第一橡胶板(4)活动连接;第三橡胶板(6)与第二橡胶板(5)固定连接;所有鱼夹(7)以相同高度水平排列安装在第三橡胶板(6)的两侧。
2、根据权利要求1所述的半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置,其特征在于第二橡胶板(5)的一侧通过梯形槽与第一橡胶板(4)的另一端插接,并用螺钉(9)将两者相对位置固定。
3、根据权利要求1所述的半导体激光线阵及迭阵的微通道热沉化学清洗装置,其特征在于鱼夹(7)上固定直角型铜片(8)。
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