[发明专利]一种高压电源开关接触孔侧壁垂直刻蚀方法

权利要求书

1.一种高压电源开关接触孔侧壁垂直刻蚀方法，其特征在于包括以下步骤：

1)利用四氟化碳气流去除第一深度接触孔表面的原生二氧化硅，工艺条件包括：四氟化碳的气体流量100sccm，射频功率200w，下电压200v，工作气压10mt；

2)采用六氟化硫、氧气和氦气的混合气体流进行接触孔的第二深度刻蚀，工艺条件包括：工作气压60mt、下电压100v，反应时间20秒；其中，六氟化硫、氧气、氦气的通入体积比为1∶1∶8或1∶0.8∶8或1∶0.6∶8或1∶0.5∶8。

2.根据权利要求1所述的一种高压电源开关接触孔侧壁垂直刻蚀方法，其特征在于，所述步骤2中通过调节所述六氟化硫与氧气的气体流比例控制第二深度的刻蚀速率。