[发明专利]涂布装置、分散液移动方法

说明书

技术领域

本发明涉及喷墨方式的间隔物涂布装置，特别涉及循环式间隔物涂布装置。

背景技术

近年来，为了涂布液晶显示装置的间隔物，采用了应用喷墨打印机的喷墨方式的间隔物涂布装置。

图9(a)的符号111是间隔物涂布装置的一个例子，在底座105的上方位置配置有安装在保持框120上的喷头121，在底座105上配置液晶用的基板107，将喷头121与基板107沿着扫描方向109相对移动，同时由喷头121喷出分散有间隔物的分散液，则分散液弹落到在基板107表面的所要求的位置，间隔物以配置的方式构成。

图8是用于说明以往技术的间隔物涂布装置111的分散液供给系统的框图。

该间隔物涂布装置111中，喷头121由多个喷头组件121a-121c构成，各喷头组件121a-121c与位于底座105一侧的供给罐136连接。

供给罐136以与各喷头组件121a-121c喷出孔的位置相同的高度储存分散液138，打开供给罐136与各喷头组件121a-121c之间的阀，在供给罐136与各喷头组件121a-121c连接的状态下通过加压装置130将气体供给供给罐136的内部，则供给罐136内的压力升高，供给罐136内的分散液138被供给各喷头组件121a-121c。

各喷头组件121a-121c以与回收罐137连接，由供给罐136供给的分散液流入喷头组件121a-121c内，然后再返回至回收罐137中的方式构成。

回收罐137与供给罐136互相连接，回收到回收罐137的分散液139可以返回至供给罐136。

专利文献1：日本特开2004-50059号公报

专利文献2：日本特开2002-72218号公报

专利文献3：日本特开平11-7028号公报

发明内容

以往技术的涂布装置111中，如上所述，分散液通过加压供给各喷头组件121a-121c，因此气体容易溶解入分散液138中，其在喷头组件121a-121c内形成气泡并析出，可能发生喷出错误。

在分散液的供应中使用泵，则发生气体的卷入，除此之外还有间隔物变形、损坏的问题。

为解决上述课题，本发明是使喷头组件与基板相对移动、使分散有固体微粒的分散液弹落在基板的所要求的位置上的涂布装置，该涂布装置具有：配置在上述喷头组件外部的第一、第二循环罐；设于上述喷头组件的缓冲罐；流入口与上述缓冲罐相连接的喷出室；设于上述第一、第二循环罐与上述缓冲罐之间的主配管；设于上述喷出室的流出口与上述第一、第二循环罐之间的返回配管；设于上述主配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述缓冲罐连接的供给阀；设于上述返回配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述喷头组件连接的返回阀，以上述第一、第二循环罐和上述缓冲罐密闭，可以调控配置于上述各罐内部的上述分散液的上部空间压力的方式构成。

本发明涉及涂布装置，该涂布装置以具有与上述第一、第二循环罐连接的给排气装置，可对上述第一、第二循环罐内上述分散液液面上方的空间供给加压气体以及进行真空排气的方式构成。

本发明又涉及涂布装置，其中，以真空泵和气体供给系统与上述缓冲罐连接，可以控制上述缓冲罐内上述分散液的液面上方空间压力的方式构成。

本发明还涉及涂布装置，其中，以由上述气体供给系统供给He的方式构成。

本发明又涉及涂布装置，其中，以在上述第一、第二循环罐之间设置移动用配管，上述分散液不经上述喷出室，可以在上述第一、第二循环罐之间移动的方式构成。

本发明还涉及具有聚集物分离用滤器的涂布装置，其中所述聚集物分离用滤器设置在上述移动用配管中，使上述固体微粒的单体通过，捕获上述固体微粒的聚集物。

本发明又涉及具有固体微粒除去用滤器的涂布装置，其中所述固体微粒除去用滤器设于上述移动用配管中，捕获上述固体微粒的单体。

本发明又涉及涂布装置，其中，分散液由循环罐供给喷出室的配管的至少一部分由不具有透液性而具有透气性、上述分散液流过的内管，和不具有透气性、上述内管插入连通的外管的双重配管构成，上述内管与上述外管之间可以进行真空排气。

本发明又涉及分散液移动方法，其是使上述任何涂布装置内部的循环液体移动的分散液移动方法，该方法是在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为供给源，在使上述供给阀为打开状态、与上述缓冲罐连接时，使上述作为供给源的循环罐内的压力为大气压或以下，同时使上述分散液从上述作为供给源的循环罐向上述缓冲罐内移动。