[发明专利]涂布装置、分散液移动方法

权利要求书

1.涂布装置，该涂布装置是使喷头组件与基板相对移动、使分散有固体微粒的分散液弹落在基板上的所希望的位置，该涂布装置具有：

配置在上述喷头组件外部的第一、第二循环罐；

设于上述喷头组件的缓冲罐；

流入口与上述缓冲罐相连接的喷出室；

设于上述第一、第二循环罐与上述缓冲罐之间的主配管；

设于上述喷出室的流出口与上述第一、第二循环罐之间的返回配管；

设于上述主配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述缓冲罐连接的供给阀；和

设于上述返回配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述喷头组件连接的返回阀；

以上述第一、第二循环罐和上述缓冲罐密闭，可以控制配置于上述各罐内部的上述分散液的上部空间压力的方式构成。

2.权利要求1的涂布装置，该涂布装置以具有与上述第一、第二循环罐连接的给排气装置，可对上述第一、第二循环罐内上述分散液液面上方的空间供给加压气体以及进行真空排气的方式构成。

3.权利要求1的涂布装置，其中，以真空泵和气体供给系统与上述缓冲罐连接，可以控制上述缓冲罐内上述分散液的液面上方空间的压力的方式构成。

4.权利要求3的涂布装置，其中，以由上述气体供给系统供给He的方式构成。

5.权利要求1的涂布装置，其中，以在上述第一、第二循环罐之间设置移动用配管，上述分散液不经上述喷出室，可以在上述第一、第二循环罐之间移动的方式构成。

6.权利要求5的涂布装置，该涂布装置具有聚集物分离用滤器，该聚集物分离用滤器设置在上述移动用配管中，使上述固体微粒的单体通过，捕获上述固体微粒的聚集物。

7.权利要求5的涂布装置，该涂布装置具有固体微粒除去用滤器，该固体微粒除去用滤器设于上述移动用配管中，捕获上述固体微粒的单体。

8.权利要求1的涂布装置，其中，分散液由循环罐供给喷出室的配管的至少一部分由不具有透液性而具有透气性、上述分散液流过的内管，和不具有透气性、上述内管插入连通的外管的双重配管构成，上述内管与上述外管之间是以能够进行真空排气的方式构成。

9.分散液移动方法，该方法是使权利要求1的涂布装置内部的循环液体移动的分散液移动方法，

在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为供给源，在使上述供给阀为打开状态，并与上述缓冲罐连接时，

使上述作为供给源的循环罐内的压力为大气压或以下，同时使上述分散液从上述作为供给源的循环罐向上述缓冲罐内移动。

10.分散液移动方法，该方法是使权利要求1的涂布装置内部的循环液体移动的分散液移动方法，

在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为回收目的地，在使上述返回阀为打开状态，并与上述喷出室连接时，

使上述作为回收目的地的循环罐内的压力比大气压低，使上述喷出室内的上述分散液移动至上述作为回收目的地的循环罐中。

11.分散液移动方法，该方法是使权利要求1的涂布装置内部的循环液体移动的分散液移动方法，

在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为供给源，使上述供给阀为打开状态，并与上述缓冲罐连接，

以另一方作为回收目的地，使上述返回阀为打开状态，并与上述喷出室连接，

使上述作为供给源的循环罐内的上述分散液流过上述缓冲罐和上述喷出室移动至上述作为回收目的地的循环罐中。