[发明专利]除去化学气相沉积(CVD)腔内的表面沉积物和钝化内表面的方法

权利要求书

1.一种活化的气体混合物，所述混合物包含：

约60％-约75％的氟原子，

约10％-约30％的氮原子，

任选最高达约15％的氧原子，以及

约0.3％-约15％的一种或多种选自由碳和硫组成的组中的原子。

2.权利要求1的活化的气体混合物，其中，

氟原子的百分比为约66％-约74％，

氮原子的百分比为约11％-约24％，

氧原子的百分比为约0.9％-约11％，以及

一种或多种选自由碳和硫组成的组中的原子的百分比为约0.6％-约 11％。

3.权利要求1或权利要求2的活化的气体混合物，其中，所述一种 或多种选自由碳和硫组成的组中的原子是碳。

4.权利要求1的活化的气体混合物，进一步包含载气。

5.权利要求4的活化的气体混合物，其中所述载气选自由氩和氦组 成的组。

6.权利要求5的活化的气体混合物，其中所述载气是氩。

7.一种用于腐蚀和除去CVD装置内表面上的表面沉积物的方法， 所述方法包括：在远程腔内活化气体混合物，该气体混合物含有氧源、 一种或多种选自由碳和硫组成的组中的原子源以及NF₃，其中，氧源∶ 一种或多种选自由碳和硫组成的组中的原子源的摩尔比率至少为约 0.75∶1，且其中NF₃在所述气体混合物中的摩尔百分比为约50％-约98％； 使所述活化的气体混合物流经管道而进入加工腔，从而减小气相物种在 所述CVD装置内表面上的表面复合速率。

8.权利要求7的方法，其中所述一种或多种选自由碳和硫组成的组 中的原子是碳。

9.权利要求7的方法，其中所述装置为PECVD装置。

10.权利要求7的方法，其中，装置的内表面是用选自由铝和阳极 氧化铝组成的组中的材料制成的。

11.权利要求7的方法，其中，管道是经冷却的。

12.权利要求7的方法，其中，节流阀被用于在清洗周期期间内增 加装置内的压力。

13.权利要求8的方法，其中所述氧源为分子氧。

14.权利要求8的方法，其中所述碳源为碳氟化合物。

15.权利要求14的方法，其中所述碳氟化合物是全氟碳化合物。

16.权利要求14的方法，其中所述碳氟化合物选自由四氟甲烷、六 氟乙烷、八氟丙烷、全氟四氢呋喃以及八氟环丁烷组成的组。

17.权利要求14的方法，其中所述碳氟化合物是六氟乙烷。

18.权利要求14的方法，其中所述碳氟化合物是八氟环丁烷。

19.权利要求7的方法，其中所述气体混合物中NF₃的摩尔百分比 为约60％-约98％。

20.权利要求7的方法，其中所述气体混合物中的NF₃为约70％- 约90％。

21.权利要求14的方法，其中所述氧源∶碳源的比率为约1∶1。

22.权利要求14的方法，其中所述氧源和碳源为二氧化碳，且气体 混合物中二氧化碳的摩尔百分比为约2％-约15％。

23.权利要求7的方法，其中所述气体混合物进一步含有载气。

24.权利要求23的方法，其中，所述载气选自由氩和氦组成的组。

25.权利要求7的方法，其中，加工腔内的压力为约0.5托-约20 托。

26.权利要求7的方法，其中，加工腔内的压力为约1托-约15托。