[实用新型]300mm硅片倒片装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种300mm硅片倒片装置，特别是一种四氟花篮与PP花篮之间相互转移300mm硅片的倒片装置

背景技术

300mm硅片是现代超大规模集成电路的主要衬底材料，一般通过拉晶、切片、倒角、磨片、腐蚀、抛光、清洗等工艺过程制造而成的集成电路级半导体硅片。在硅片制造过程中硅片的传递根据工艺的不同需要不同规格的花篮，其中加工过程中的传递花篮有两种，一种是普通传递花篮，主要材料是PP(聚丙烯)，(或在PP材料中加入碳纤维，以消除静电)，用于硅片加工过程中的传递；另一种花篮主要材料是聚四氟乙烯(简称四氟花蓝)，四氟花篮耐酸碱及高温，故用于硅片的清洗，例如硅片双面抛光后，需要使用四氟花篮进行抛光后的清洗及甩干，然后需要把硅片转移到PP花篮中，传递到下一个工艺中。

300mm硅片在双面抛光及清洗后已经达到了镜面状态，此时禁止接触硅片的正表面，否则会带入颗粒及划伤。抛光片表面状态的好坏对后步工序的加工直至器件质量，尤其VLSI和ULSI的制备性能与成品率有着极为重要的影响。因此，为了使硅片批量地从四氟花篮转移到PP花篮，就需要一种硅片转移工具，即倒片装置。

对于小尺寸硅片，使用的都是同一种规格的花篮，硅片转移时只需要把两花篮对接就可以使两个花篮之中的硅片进行相互转移，但300mm硅片用的四氟花篮与PP花篮规格尺寸不同，当两花篮直接对接时，两花篮相对应的槽间距(pitch)有一定的缝隙，硅片滑移到两花篮中间会偏离槽间距而造成碎片。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种300mm硅片的倒片装置，该装置结构紧凑，操作简便，使大尺寸硅片能顺利地在两种花篮之间相互进行传递，倒片效果好，提高VLSI和ULSI的制备性能与成品率。

为达到上述发明目的本实用新型采用以下技术方案：这种300mm硅片倒片装置包括：花篮固定底座，底座下部设两根导杆，在导杆轴向的前后位置上各设一个推杆，推杆的下部设支架，支架上设滑动件，滑动件与导杆配合，在底座的两种花蓝之间设有两个滑移导轨，所述花篮固定底座上有四氟花篮固定销和PP花篮固定销。

本实用新型所用的材料是：用符合洁净室洁净要求的板材和不锈钢导柱等材料制作而成。

本实用新型的优点是：结构紧凑，操作简便，使大尺寸硅片能顺利地在两种花篮之间相互进行传递，倒片效果好，提高VLSI和ULSI的制备性能与成品率。

附图说明：

图1：300mm硅片倒片装置立体图

图2：导轨放大后的立体图

图3：推杆及导杆的立体图

图4：四氟花篮固定销、卡槽以及PP花篮固定销位置图

具体实施方式

如图1、图2、图3、图4所示，倒片装置包括：花篮固定底座1，底座下部设两根导杆6，在导杆轴向的前后位置上各设一个推杆2，推杆的下部设支架，支架上设滑动件，滑动件上有穿孔，该穿孔中插入导杆6，推杆2可以沿底座下部的两根导杆6滑移，滑动件也可做成卡槽式，卡槽与导杆配合。在推杆2的上部分可以做成竖直部分，推杆2的上部分推动花篮中硅片的边缘，使硅片沿导轨滑移到另一花篮中去。

在底座的两种花蓝之间设有两个滑移导轨3，滑移导轨由多个等间距凹槽组成，两槽之间的间距与两花篮的槽间距一致，使每片硅片能分别沿之滑移到另一花篮中去，防止硅片脱落碎片。

所述花篮固定底座上有四氟花篮固定销4和PP花篮固定销5，PP花篮是由三个组成等边三角形的固定销固定的。

四氟花篮是由两个固定销和一个卡槽7一起固定的。