[发明专利]具有可线性移动的定位单元的定位装置

权利要求书

1.特别用于操作电气元件(14)的定位装置，其具有两个相互平行的、确定一个导向平面的导轨(6)和在导轨上可线性移动地导向的轴承(5)，在这些轴承上固定有定位单元，

其特征在于，

所述的定位单元在轴承(5)的范围内在两个导轨(6)上围绕相应的一个垂直于导向平面的铰链轴线(16)可摆动地支承，并且铰链轴线(16)之间的连接轴线(13)相对导轨(6)倾斜延伸。

2.根据权利要求1所述的定位装置，

其特征在于，

所述的铰链轴线(16)通过弹性可变形的元件、特别是以实体铰链的方式形成。

3.根据权利要求1或2所述的定位装置，

其特征在于，

所述的轴承(5)具有比连接轴线(13)短的导向长度。

4.根据权利要求1、2或3所述的定位装置，

其特征在于，

所述的导轨(6)设计为轨道形式并且所述的轴承(5)具有在轨道上双侧贴靠的滚轮体。

5.根据权利要求4所述的定位装置，

其特征在于，

所述的轴承(5)是线性的球循环元件。

6.根据权利要求4或5所述的定位装置，

其特征在于，

所述的铰链轴线(16)通过铰链形成并且布置在轴承中心之外，特别是布置在滑移方向上相互背向的轴承端。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的定位装置，

其特征在于，

所述的定位单元是在轴承(5)之间延伸的定位臂(1，11，21，31)。

8.根据权利要求7所述的定位装置，

其特征在于，

所述的连接轴线(13)相对导轨以65°至85°的角度延伸。

9.根据权利要求6或8所述的定位装置，

其特征在于，

所述的定位臂(1，11，21，31)设置有一个横向于导轨(6)延伸的用于功能单元的导向机构(12)，这个功能单元优选用作将电气元件(14)装备到基片上的装备头(2)。

10.根据权利要求9所述的定位装置，

其特征在于，

所述的导向机构(12)近似平行于连接轴线(13)延伸。

11.根据权利要求10所述的定位装置，

其特征在于，

细长的第一和第二定位臂(1，31)基本在连接轴线(13)的方向延伸。

12.根据权利要求9所述的定位装置，

其特征在于，

所述的导向机构(12)基本垂直于导轨(6)并且倾斜于连接轴线(13)延伸。

13.根据权利要求12所述的定位装置，

其特征在于，

第三和第四定位臂(11，21)在轴承(5)之间设计为L形或Z形延伸。

14.根据前述权利要求中任一项所述的定位装置，

其特征在于，

一个特别是由直线电动机(9，10)构成的用于定位单元的移动驱动机构靠近导轨(6)之一布置。

15.根据前述权利要求中任一项所述的定位装置，

其特征在于，

所述的定位装置沿着导轨(6)之一具有长度尺(17)并在另一个导轨(6)上具有另一个长度尺或者中心标记。

16.根据前述权利要求中任一项所述的定位装置，

其特征在于，

另一个导轨(26)布置在一个移动的支架上，特别是在定位臂(21)上，并且所述的定位单元以在另一个导轨(26)上可移动的对角的轴承(25)用作尤其是装备头(2)形式的定位头。

17.根据权利要求16所述的定位装置，

其特征在于，

所述的铰链轴线之间的连接轴线(23)在紧凑的定位头上相对导轨(26)大约以45°角延伸。