[发明专利]基底制程装置及其制程方法无效
| 申请号： | 200410057589.5 | 申请日： | 2004-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN1596061A | 公开（公告）日： | 2005-03-16 |
| 发明（设计）人： | 麦可·巴讷斯;约翰·后兰;杉宏清;布瑞恩·Y·普;摩喜特·杰恩;苏立范;麦可·D·阿马寇斯特;韩森·E·奈尔;戴安娜·玛莉黛欧并;阿修克·K·信哈;丹·麦登 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/02;G01N21/00;G01N21/41;G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 搜索关键词： | 基底 装置 及其 方法 | ||
【说明书】：
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