[实用新型]氧化锌薄膜生长用金属有机化合物汽相淀积设备

权利要求书

1、一种氧化锌薄膜生长用金属有机化合物汽相淀积设备，由气体输运系统、反应室、控制系统、尾气处理系统等部分构成，其反应室由带有抽气孔(8)的底座法兰盘(1)、反应室侧壁(2)、旋转轴(3)、磁流体轴承(4)、电机(5)、上法兰盘(6)、不锈钢丝网(7)、加热片(9)、衬底片托盘(10)、气路(11)、副气路(12)(13)、混气室(14)等部件构成，特征在于：气路(11)做为通杂质源的杂质源气路，在混气室(14)中杂质源气路(11)的下面添加一个射频等离子发生器(18)，在反应室的侧壁两侧分别插入锌源喷枪(15)和氧源喷枪(16)。

2、如权利要求1所述的氧化锌薄膜生长用金属有机化合物汽相淀积设备，其特征在于：反应室中锌源喷枪(15)和氧源喷枪(16)与衬底托盘的距离在2厘米以内。

3、如权利要求1或2所述的氧化锌薄膜生长用金属有机化合物汽相淀积设备，其特征在于：反应室中锌源喷枪(15)和氧源喷枪(16)上都加套有匀气套(17)，喷枪顶端封死，喷枪垂直向上每隔3～5毫米均匀开有1～2毫米小孔，匀气套(17)的开口狭缝(19)朝向下方面向衬底，开口狭缝(19)的宽度为1～2毫米。

4、如权利要求1或2所述的氧化锌薄膜生长用金属有机化合物汽相淀积设备，其特征在于：反应室中电阻式加热片(9)呈放射状，加热片(9)的材质为抗氧化的钼片。

5、如权利要求3所述的氧化锌薄膜生长用金属有机化合物汽相淀积设备，其特征在于：反应室中电阻式加热片(9)呈放射状，加热片(9)的材质为抗氧化的钼片。