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[发明专利]在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置-CN200910164658.5无效
发明人：托马斯·穆尔 -专利权人：全域探测器公司
申请日： 2004-11-03 - 公布日： 2010-02-10 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置，用于制备TEM样品架(170)的样坯(100)，其包括片材(120)，所述片材包括TEM样品架模板(170)。片材(120)至少有一部分将TEM样品架模块(170)与片材的其他部分相连。通过在压机中从样坯上切出TEM样品架模板(170)而形成TEM样品架(170)，所述切削将纳操作器探针末梢(150)的针尖(160)与所形成的TEM样品架(170)相接合，所述探针(150)的针尖(160)上连接有样品，用于在TEM中进行检验。
聚焦离子束显微镜进行快速样品制备方法装置

[发明专利]在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置-CN200910164657.0无效
发明人：托马斯·穆尔 -专利权人：全域探测器公司
申请日： 2004-11-03 - 公布日： 2010-02-10 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置，用于制备TEM样品架(170)的样坯(100)，其包括片材(120)，所述片材包括TEM样品架模板(170)。片材(120)至少有一部分将TEM样品架模块(170)与片材的其他部分相连。通过在压机中从样坯上切出TEM样品架模板(170)而形成TEM样品架(170)，所述切削将纳操作器探针末梢(150)的针尖(160)与所形成的TEM样品架(170)相接合，所述探针(150)的针尖(160)上连接有样品，用于在TEM中进行检验。
聚焦离子束显微镜进行快速样品制备方法装置

[发明专利]一种基于三维TEM样品进行缺陷分析的方法-CN201410003657.3有效
发明人：仝金雨;郭伟;李桂花;李剑 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2014-01-03 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种基于三维TEM样品进行缺陷分析的方法。包括以下步骤：提供带有缺陷的半导体样品；在待观测区域形成第一标记；横向电镀第一铂金保护层；制备第一TEM样品；测量缺陷到第一标记的距离；将第一TEM样品放置到半导体样品上；纵向电镀第二铂金保护层；制备三维TEM样品；三维TEM成像。本发明的技术方案，在制备三维TEM样品的基础上，进行两个方向的TEM观测和成像，可以得到半导体制程中缺陷的形貌、大小、所处层次等全面信息，进行对所述缺陷进行准确失效分析，从而提出对半导体制程的可靠改进意见；本发明的技术方案操作方法简单，三维TEM样品制备效率高，对TEM样品进行失效分析效果好，准确率高。
一种基于三维 tem 样品进行缺陷分析方法

[发明专利]SEM/TEM样品的定位方法-CN201310156191.6有效
发明人：孙蓓瑶;王炯翀 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-04-28 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种SEM/TEM样品的定位方法，包括：第一次激光定位SEM/TEM样品；在SEM/TEM样品表面填涂油性材料；第二次激光定位SEM/TEM样品。本发明对于某些需填涂油性材料作为保护层且需定点制样的SEM/TEM样品，先在目标位置附近进行第一次激光定位，然后再在目标位置上填涂油性材料，最后再在原有的标记上用激光进行第二次激光定位，不仅可以保护SEM/TEM样品不受沾污，还可以在SEM/FIB中迅速找到所需制样的目标位置，大大提高了制备SEM/TEM样品的效率和质量。
sem tem 样品定位方法

[发明专利]利用FIB切割以实现纳米级样品立体观测的方法-CN201410360268.6无效
发明人：陈以欣;李晓旻 -专利权人：胜科纳米（苏州）有限公司
申请日： 2014-07-25 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：该方法包括：提供待测样品；对所述待测样品的感兴趣区域沿第一方向切割进行第一TEM薄片样品制备，获得第一TEM薄片样品，并从第二方向进行TEM观测；对所述第一TEM薄片样品沿第二方向切割进行第二TEM薄片样品制备，获得第二TEM薄片样品，并从第一方向进行TEM观测；所述第一方向与第二方向垂直。
利用 fib 切割实现纳米样品立体观测方法

[发明专利]一种高频短波细胞照射系统及其使用方法-CN202310067735.5在审
发明人：姚斌伟;彭瑞云;刘曙晨;袁勇;孙云波 -专利权人：中国人民解放军军事科学院军事医学研究院
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C12M3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高频短波细胞照射系统及其使用方法，包括生物培养箱、照射系统、TEM小室、温度反馈系统、剂量监测系统和上位机；生物培养箱内设置有两个TEM小室以及温度反馈系统和剂量监测系统，每一TEM小室内均设置有温度测量装置、换气装置和放置细胞培养液的培养皿；上位机分别连接照射系统、温度反馈系统和剂量监测系统，照射系统分别连接每一TEM小室；照射系统用于发射射频信号并传导至TEM小室；温度反馈系统用于根据TEM小室的温度值控制换气装置的转速；剂量监测系统用于监测每一TEM小室的暴露条件，并评估辐射剂量；上位机用于进行TEM小室通路的切换，设定照射系统的输出频率，本发明可广泛用于高频短波领域中。
一种高频短波细胞照射系统及其使用方法

[发明专利]一种SEM联用的TEM样品无损夹持装置及TEM样品无损夹持方法-CN202310075959.0在审
发明人：王帅;曹海邻 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01N23/2204 文献下载
摘要：本发明适用于电子显微镜测试设备领域，提供了一种SEM联用的TEM样品无损夹持装置及TEM样品无损夹持方法。TEM样品无损夹持装置包括安装台、样品底座和压片，安装台的下侧具有连接部，安装台上设置有样品底座，样品底座上设置有样品槽，压片的中央处设置有样品通孔，样品底座上侧设置有用于定位压片以避免压片相对样品底座倾转的定位结构；TEM样品无损夹持装置还包括第一锁紧件，第一锁紧件穿过压片、样品底座且螺纹连接于安装台。应用方法用于安装上述TEM样品无损夹持装置。本发明所提供的一种SEM联用的TEM样品无损夹持装置及TEM样品无损夹持方法，其可以实现TEM样品无损伤、可重复装夹拆卸，具有成本经济、可靠性高等优点，利于推广应用。
一种 sem 联用 tem 样品无损夹持装置方法

[发明专利]一种用于TEM小室的低扰动支撑结构-CN201811564389.7有效
发明人：杨静;聂鑫;陈伟;石跃武;朱志臻;王伟 -专利权人：西北核技术研究所
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：为解决绝缘垫块的放置影响TEM小室内标准场场环境，进而影响标定的转换系数准确性的技术问题，本发明提供了一种用于TEM小室的低扰动支撑结构，可用于开放式和传统的TEM小室，提供将时域电场探测器或被试品置于TEM小室产生的标准场中合适位置的支撑结构。一种用于TEM小室的低扰动支撑结构，主要包括固定在TEM小室中间极板或TEM小室下极板上的固定槽卡块、用于将拉线环固定在固定槽卡块上的尼龙螺钉和通过拉线固定的承载盘。本发明结构简单、易实现、成本低；可通过固定槽卡块长度设计实现拉线初始长度的确定，操作简便；承载盘中空且高度可调节，对TEM小室的标准环境场扰动小，可提高试验精度，减小探测器标定的不确定度。
一种用于 tem 小室扰动支撑结构

[发明专利]TEM 样品载网支持膜及其制备方法、TEM 样品分析方法-CN201310705738.3在审
发明人：于会生;段淑卿;陈柳;赵燕丽;郭志蓉 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-12-19 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：本发明提供一种TEM样品载网支持膜及其制备方法、TEM样品分析方法。其中，所述TEM样品载网支持膜至少包括：承载组件，所述承载组件中设置有镂空区域，所述镂空区域中包括多个镂空部；碳膜，覆盖于所述镂空区域上；其中，至少一个所述镂空部上覆盖的碳膜中设置有一个样品孔。所述TEM样品载网支持膜的碳膜上设置的样品孔适于在进行TEM分析时，避免TEM样品受到碳膜的影响，同时能很牢固的吸附在碳膜上，并得到碳膜足够的支撑力。
tem 样品支持及其制备方法分析

[发明专利]一种承载装置及其制备方法-CN201410617766.4有效
发明人：郭伟;仝金雨;刘君芳;李桂花;李品欢 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2014-11-03 - 公布日： 2017-08-04 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种承载装置及其制备方法；通过提供具有设置有与TEM样品的支撑区域形状匹配的凹槽的基体，在对TEM样品进行检测时，只需将TEM样品的支撑区域固定在基体凹槽中，以支撑透射区域悬空，以便于后续在透射电镜中对TEM样品的透射区域进行检测。本发明技术方案可以避免传统承载装置中的铜元素和碳支持膜对TEM样品的观察和分析的干扰，大大提高了对TEM样品进行检测的准确率和效率。
一种承载装置及其制备方法

[发明专利]一种将石墨烯薄膜转移到TEM铜网上的方法-CN201510145260.2有效
发明人：张梓晗;吕鹏;杨秋云;王冠中 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2015-03-27 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： C01B31/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种将石墨烯薄膜转移到TEM铜网上的方法，其特征在于：先将TEM铜网吸附在静电吸附膜上，再在其上转移石墨烯薄膜。本发明通过将TEM铜网吸附在静电吸附膜上，宏观上间接扩大了铜网的表面积，使其便于夹取，且在夹取时不直接接触TEM铜网，避免了对其结构的破坏；用此复合基底来转移石墨烯薄膜，容易实现石墨烯到TEM铜网的转移，解决了石墨烯薄膜不易转移到小面积TEM铜网上的困难，且操作简单。
一种石墨薄膜转移 tem 网上方法

[发明专利]用于TEM原位划擦实验的探针及其制造方法及操作方法-CN202310545528.6在审
发明人：喻旺珍;余红;皇甫秉含 -专利权人：长沙凯普乐科技有限责任公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本发明涉及TEM原位划擦实验领域，并公开了一种用于TEM原位划擦实验的探针、一种用于TEM原位划擦实验的探针的制造方法以及一种用于TEM原位划擦实验的操作方法，所述探针包括：探针本体(1)，所述探针本体(1)的一端设置为划擦端；加强镀层(2)，所述加强镀层(2)通过高温蒸镀形成于所述划擦端上，所述加强镀层(2)的硬度大于所述探针本体(1)的硬度；以及划擦尖端(3)，所述划擦尖端(3)用于对样品进行TEM本发明的用于TEM原位划擦实验的探针能够避免对样品进行TEM原位划擦实验后残留探针材料在样品上。
用于 tem 原位实验探针及其制造方法操作方法

[发明专利]一种组合脉冲辐射天线-CN201810594626.8有效
发明人：张安学;崔嘉倩;师振盛;刘小正;许新桩;朱军涛;耿哲;彭干涛 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-06-11 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： H01Q1/36 文献下载
摘要：本发明提供的一种组合脉冲辐射天线，包括馈电部分、TEM喇叭部分和bow‑tie天线部分，其中，馈电部分设置在TEM喇叭部分的前端，bow‑tie天线部分焊接在馈电部分上，且TEM喇叭部分的金属板延伸方向与天线轴线互相平行；bow‑tie天线部分的金属板延伸方向与天线轴线互相垂直；TEM喇叭部分的末端朝向bow‑tie天线部分的方向设置有弯折部分；bow‑tie天线部分的末端朝向TEM喇叭部分的方向设置有弯折部分；同时，TEM喇叭部分的末端弯折部分与bow‑tie天线部分的末端弯折部分之间设置有间隙；该组合天线的设计使得在TEM喇叭末端不连续处震荡的电磁能量能够有效的辐射出去，从而使脉冲辐射天线可以工作在更低的频段。
一种组合脉冲辐射天线

[发明专利]同心锥形TEM室及其传输段内外导体半夹角的设计方法-CN201410821001.2在审
发明人：刘星汛;齐万泉;穆晨晨;马蔚宇;黄承祖;闫旭红 -专利权人：北京无线电计量测试研究所
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本发明公开一种同心锥形TEM室及其传输段内外导体半夹角的设计方法，该方法包括步骤：根据该同心锥形TEM室传输段的使用要求，选择其特性阻抗Z_C以及外导体半夹角θ₂与内导体半夹角θ₁之比θ₂/θ₁；根据选定的同心锥形TEM室传输段特性阻抗Z_C和外内半夹角之比θ₂/θ₁，计算不同的同心锥形TEM室传输段内外导体半夹角所对应的同心锥形TEM室传输段的高阶模数量，选取最少高阶模数量所对应的内外导体半夹角，作为该同心锥形TEM室传输段内外导体半夹角本发明所述技术方案通过设计同心锥形TEM室传输段的内外导体半夹角，有效地减少了高阶模的数量且提高了高阶模截止频率，提高了同心锥形TEM室性能。
同心锥形 tem 及其传输内外导体夹角设计方法

[发明专利]超宽带电磁组合TEM喇叭天线及其参数确定方法-CN201910108787.6在审
发明人：纪奕才;杨光耀;阎焜;刘新;叶盛波;张群英;方广有 -专利权人：中国科学院电子学研究所
申请日： 2019-02-03 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： H01Q13/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种超宽带电磁组合TEM喇叭天线及其参数确定方法，其TEM喇叭天线包括：匚形方框、TEM喇叭上臂、TEM喇叭下臂、寄生枝节、介质垫片、SMA接头和凸台；电流通过所述SMA接头馈入TEM喇叭天线，TEM喇叭上臂馈电端与SMA接头内芯相连，介质垫片填充于上臂过渡段和下臂过渡段间，匚形方框、TEM喇叭上臂和寄生枝节围成封闭磁环，电流流经寄生枝节处发生分流。本公开通过上下臂椭圆渐变方式优化了TEM天线高频裂瓣，使高频增益提高；通过圆弧形寄生枝节增强低频辐射，拓展低频带宽；通过上下臂高度不对称设计调整最大辐射方向，使波束保持在x轴方向；通过过渡段代替巴伦，以介质垫片调节过渡阻抗
喇叭天线寄生上臂介质垫片过渡段喇叭方框参数确定超宽带上下臂下臂匚形波束不对称设计低频带宽低频辐射电流通过封闭磁环高频增益过渡阻抗渐变方式天线带宽最大辐射倍频程馈电端圆弧形椭圆巴伦馈入裂瓣内芯凸台填充天线分流拓展优化